[发明专利]激光校准装置和激光校准方法

说明书

一种激光校准装置，包括：激光装置；动态聚焦装置；升降装置；检测装置；振镜装置；控制装置用于根据各实际标点的位置信息与预设的标准标点的位置信息确定位置补偿参数，根据所述位置补偿参数确定第一校正参数，利用所述第一校正参数校正所述振镜装置；控制所述升降装置在第一预设距离内以第二预设距离的步距运动，获取所述检测装置所捕捉的实际标点的热电势信息，根据所述实际标点的热电势信息确定所有实际标点中的最小实际标点，确定形成所述最小实际标点时所述升降装置的位置与所述升降装置的初始位置之间的距离，根据所述距离确定第二校正参数，利用所述第二校正参数校正所述动态聚焦装置，可在平面及高度上对所述激光校正装置进行校正。

技术领域

本发明涉及一种激光加工领域，特别涉及一种激光校准装置和激光校准方法。

背景技术

在激光加工领域，一般是通过激光装置及振镜装置进行扫描加工复杂图形和产品。但是由于环境温湿度的不同、光路组件加工误差和安装误差、及激光传导的空气介质或其他介质的不同等，导致所述振镜装置扫描出来的图形与标准图形产生偏差，导致加工的产品尺寸偏差，也可能导致激光焦点会偏离理想平面，导致加工平面能量密度不均匀，导致产品性能差异。

发明内容

鉴于以上内容，有必要提供一种激光校准装置和激光校准方法，可在平面及高度上对所述激光校正装置进行校正。

一种激光校准装置，包括：

激光装置，所述激光装置用于出射激光；

动态聚焦装置，所述动态聚焦装置位于所述激光装置出射的激光的光路上；

升降装置；

检测装置，所述检测装置设置在所述升降装置上，所述检测装置用于捕捉所述激光在所述检测装置上形成的实际标点的热电势信息；

振镜装置，所述振镜装置用于将经过所述动态聚焦装置的激光反射聚焦在所述检测装置；

控制装置，所述控制装置与所述激光装置、所述动态聚焦装置、所述升降装置、所述检测装置、及所述振镜装置电连接，所述控制装置用于确定各实际标点的位置信息，根据各实际标点的位置信息与预设的标准标点的位置信息确定位置补偿参数，根据所述位置补偿参数确定第一校正参数，利用所述第一校正参数校正所述振镜装置；控制所述升降装置在第一预设距离内以第二预设距离的步距运动，在所述升降装置每运动所述第二预设距离的步距时获取所述检测装置所捕捉的实际标点的热电势信息，根据所述实际标点的热电势信息确定所有实际标点中的最小实际标点，确定形成所述最小实际标点时所述升降装置的位置与所述升降装置的初始位置之间的距离，根据所述距离确定第二校正参数，利用所述第二校正参数校正所述动态聚焦装置。

较佳地，所述控制装置还用于控制所述振镜装置在所述检测装置上按照预设的标准标点的位置信息逐个扫描形成所述实际标点，获取所述检测装置所捕捉的各实际标点的热电势信息，根据各实际标点的热电势信息确定各实际标点的位置信息。

较佳地，所述控制装置还用于建立检测装置坐标系；

所述根据各实际标点的位置信息与预设的标准标点的位置信息确定位置补偿参数包括：

根据所述实际标点的位置信息确定各实际标点的中心在所述检测装置坐标系下的坐标信息；

根据各实际标点的中心在所述检测装置坐标系下的坐标信息及预设的标准标点在所述检测装置坐标系下的坐标信息确定所述位置补偿参数，其中所述预设的标准标点的位置信息包括所述预设的标准标点在所述检测装置坐标系下的坐标信息。

较佳地，所述根据所述距离确定第二校正参数包括：

根据所述距离及所述振镜装置的偏转角度确定焦长补偿距离；

根据所述焦长补偿距离确定所述第二校正参数。