[发明专利]制备太阳能电池TCO膜时控制真空腔体水蒸气的方法在审
| 申请号： | 202010116023.4 | 申请日： | 2020-02-25 |
| 公开（公告）号： | CN111293192A | 公开（公告）日： | 2020-06-16 |
| 发明（设计）人： | 任明冲;谷士斌;周学谦;安洋;许明现;蔡涔;黄强 | 申请（专利权）人： | 东方日升（常州）新能源有限公司 |
| 主分类号： | H01L31/18 | 分类号： | H01L31/18;H01L31/0224 |
| 代理公司： | 浙江永鼎律师事务所 33233 | 代理人： | 郭小丽 |
| 地址： | 213251 江苏省常*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 制备 太阳能电池 tco 控制 空腔 水蒸气 方法 | ||
1.一种制备太阳能电池TCO膜时控制真空腔体水蒸气的方法，其特征在于，在制备TCO膜设备的过渡腔室和/或工艺腔室中安装有低温冷凝泵，通过间歇性的开启或关闭低温冷凝泵，从而调节过渡腔室和/或工艺腔室中的水蒸气量。
2.根据权利要求1所述的制备太阳能电池TCO膜时控制真空腔体水蒸气的方法，其特征在于，在过渡腔室和/或工艺腔室安装有残余气体分析仪，残余气体分析仪连接低温冷凝泵，当残余气体分析仪检测到过渡腔室和/或工艺腔室中的水蒸气量大于设定值时，开启低温冷凝泵，当残余气体分析仪检测到过渡腔室和/或工艺腔室中的水蒸气量小于设定值时，关闭低温冷凝泵。
3.根据权利要求2所述的制备太阳能电池TCO膜时控制真空腔体水蒸气的方法，其特征在于，残余气体分析仪通过变频控制器连接低温冷凝泵，残余气体分析仪检测到的信号传递给变频控制器，通过变频控制器调节低温冷凝泵的频率。
4.根据权利要求1所述的制备太阳能电池TCO膜时控制真空腔体水蒸气的方法，其特征在于，所述的制备TCO膜设备为PVD设备或RPD设备。
5.根据权利要求2所述的制备太阳能电池TCO膜时控制真空腔体水蒸气的方法，其特征在于，所述的残余气体分析仪的测量范围在10-7-10-1Pa之间。
6.根据权利要求1所述的制备太阳能电池TCO膜时控制真空腔体水蒸气的方法，其特征在于，在工艺腔室两侧分别连接有一个过渡腔室，两个过渡腔室分别连接进片腔室和出片腔室。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
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