[发明专利]一种钽靶材与铜背板的钎焊方法

权利要求书

1.一种钽靶材与铜背板的钎焊方法，其特征在于，所述钎焊方法包括如下步骤：

(1)矫正钽靶材翘曲度，使靶材的平面度≤0.2mm；

(2)钽靶材与铜背板的焊接面分别独立地进行表面喷砂处理；

(3)分别独立地对钽靶材与铜背板喷砂处理后的焊接面进行镀镍处理；

(4)钎焊连接进行镀镍处理后的钽靶材与铜背板，完成钽靶材与铜背板的钎焊焊接。

2.根据权利要求1所述的钎焊方法，其特征在于，步骤(2)所述喷砂处理在喷砂机中进行，喷砂处理采用的沙粒为46号白玉刚，气压范围为0.55-0.6MPa；喷砂处理的时间为2-4min；喷砂处理时喷砂枪与焊接面的垂直距离为80-100mm。

3.根据权利要求2所述的钎焊方法，其特征在于，步骤(2)所述喷砂处理时，喷砂枪喷砂方向与焊接面的夹角为0-180°，且不为0°、90°以及180°。

4.根据权利要求1-3任一项所述的钎焊方法，其特征在于，步骤(3)所述镀镍处理为化学镀镍，包括如下步骤：

(a)将经过喷砂处理后的焊接面进行活化处理；

(b)活化处理后的焊接面经过清洗，然后放置于镀镍液中进行镀镍；

(c)镀镍后的焊接面依次经过清洗以及60-70℃的去离子水浸泡，干燥后完成所述化学镀镍。

5.根据权利要求4所述的钎焊方法，其特征在于，步骤(a)所述活化处理在活化液中进行，活化处理的时间为45-75s。

6.根据权利要求5所述的钎焊方法，其特征在于，所述活化液由氢氟酸与水组成，氢氟酸与水的体积比为(0.5-2):(8-9.5)。

7.根据权利要求4所述的钎焊方法，其特征在于，步骤(b)所述镀镍液为SYC300A与SYC300B的混合水溶液，镀镍液中镍离子的浓度为5.6-6g/L，镀镍的温度为85-90℃，镀镍的时间为20-30min，形成镀镍层的平均厚度为6-10μm。

8.根据权利要求7所述的钎焊方法，其特征在于，所述SYC300A与SYC300B的体积比为1:(1-3)。

9.根据权利要求4所述的钎焊方法，其特征在于，步骤(c)所述浸泡的时间为12-18s。

10.根据权利要求1所述的钎焊方法，其特征在于，步骤(4)所述钎焊连接所用焊料为含铟焊料。

11.根据权利要求1所述的钎焊方法，其特征在于，所述焊接方法还包括预处理步骤：在钽靶材的焊接面设置凸台，在铜背板的焊接面设置于凸台配套的凹槽。

12.根据权利要求11所述的钎焊方法，其特征在于，所述凹槽的深度与凸台的高度的差值为0.35-0.65mm。

13.根据权利要求12所述的钎焊方法，其特征在于，所述凹槽的等效圆直径比凸台的等效圆直径大至少0.4mm。

14.根据权利要求1-13任一项所述的钎焊方法，其特征在于，所述钎焊方法包括如下步骤：

(1)矫正钽靶材翘曲度，使靶材的平面度≤0.2mm；

(2)在钽靶材的焊接面设置凸台，在铜背板的焊接面设置于凸台配套的凹槽，然后在钽靶材与铜背板的焊接面分别独立的进行表面喷砂处理；喷砂处理采用的沙粒为46号白玉刚，气压范围为0.55-0.6MPa；喷砂处理的时间为2-4min；喷砂处理时喷砂枪与焊接面的垂直距离为80-100mm；喷砂枪喷砂方向与焊接面的夹角为0-180°，且不为0°、90°以及180°；

(3)分别独立地对钽靶材与铜背板喷砂处理后的焊接面进行化学镀镍，包括如下步骤：

(a)将经过喷砂处理后的焊接面在活化液中进行活化处理45-75s；所述活化液由氢氟酸与水组成，氢氟酸与水的体积比为(0.5-2):(8-9.5)；

(b)活化处理后的焊接面经过清洗，然后放置于镀镍液中进行镀镍；所述镀镍液为SYC300A与SYC300B的混合水溶液，镀镍液中镍离子的浓度为5.6-6g/L，镀镍的温度为85-90℃，镀镍的时间为20-30min，形成镀镍层的平均厚度为6-10μm；所述SYC300A与SYC300B的体积比为1:(1-3)；

(c)镀镍后的焊接面依次经过清洗以及60-70℃的去离子水浸泡12-18s，干燥后完成所述化学镀镍；

(4)使用含铟钎料钎焊连接进行镀镍处理后的钽靶材与铜背板，完成钽靶材与铜背板的钎焊焊接。