[发明专利]MEMS麦克风器件的检测方法

说明书

本发明涉及一种MEMS麦克风器件的检测方法，所述MEMS麦克风器件包括传声器结构，所述方法包括：在所述MEMS麦克风器件的背面贴附静电膜；将背面形成有所述静电膜的所述MEMS麦克风器件置于真空吸盘上进行检测；其中，所述静电膜与所述真空吸盘接触。上述MEMS麦克风器件的检测方法，在MEMS麦克风器件的背面形成静电膜，且将传统技术中扫描电镜的吸附载台由真空吸盘更换为静电吸盘，使得MEMS麦克风器件可以通过静电膜与静电吸盘形成静电吸附，可避免MEMS麦克风器件1因无法承受较大吸附而造成损伤。

技术领域

本发明涉及半导体领域，特别是涉及一种MEMS麦克风器件的检测方法。

背景技术

通常在MEMS麦克风器件制备完毕后需要对MEMS麦克风器件进行缺陷检测，常用的检测方式为利用扫描电镜检测。扫描电镜机台包括真空吸盘，通常将检测结构的背面与真空吸盘接触并放置于真空吸盘上，利用负压吸附检测结构，然后进行检测。但是由于MEMS麦克风器件具有空腔振膜，将MEMS麦克风放置于真空吸盘上时，MEMS麦克风将无法承受真空压力，进而导致结构损坏。

发明内容

基于此，有必要针对MEMS麦克风器件在真空吸盘的真空压力下容易导致结构损坏的问题，提供一种MEMS麦克风器件的检测方法。

一种MEMS麦克风器件的检测方法，所述MEMS麦克风器件包括传声器结构，所述方法包括：

在所述MEMS麦克风器件的背面贴附静电膜；

将背面形成有所述静电膜的所述MEMS麦克风器件置于静电吸盘上进行检测；其中，所述静电膜与所述静电吸盘接触。

在其中一个实施例中，在所述MEMS麦克风器件的背面贴附静电膜包括：

提供所述静电膜,所述静电膜包括膜本体和形成于所述膜本体上的粘性材料层；

将所述静电膜贴附于所述MEMS麦克风器件的背面，所述粘性材料层与所述MEMS麦克风器件的背面相接触。

在其中一个实施例中，所述静电膜在所述MEMS麦克风器件背面的正投影覆盖所述MEMS麦克风器件的背面，且所述正投影的边缘与所述MEMS麦克风器件的边缘具有间距。

在其中一个实施例中，将所述静电膜贴经由所述粘性材料层附于所述MEMS麦克风器件的背面之后还包括：

沿所述MEMS麦克风器件的边缘切割所述静电膜。

在其中一个实施例中，将背面形成有所述静电膜的所述MEMS麦克风器件置于静电吸盘上进行检测之后还包括：

将背面形成有所述静电膜的所述MEMS麦克风器件自所述静电吸盘上取下；

将所述MEMS麦克风器件和所述静电膜分离。

在其中一个实施例中，所述粘性材料层包括硅胶。

在其中一个实施例中，将所述MEMS麦克风器件和所述静电膜分离包括：

采用紫外线照射所述硅胶，以使所述硅胶粘附力减弱；

将所述静电膜从所述MEMS麦克风器件上剥离。

在其中一个实施例中，所述膜本体的材料包括聚苯二甲酸乙二醇酯。

在其中一个实施例中，所述静电膜的厚度包括36um～44um。

在其中一个实施例中，将背面形成有所述静电膜的所述MEMS麦克风器件置于静电吸盘上并放置于扫描电镜中进行电子束检测。

上述MEMS麦克风器件的检测方法，在MEMS麦克风器件的背面形成静电膜，使得MEMS麦克风器件可以通过静电膜与静电吸盘形成静电吸附，可避免MEMS麦克风器件因无法承受较大吸附而造成损伤。