[发明专利]一种用于IC器件测试的冷却系统及其制造方法和使用方法在审
申请号: | 202010116845.2 | 申请日: | 2020-02-25 |
公开(公告)号: | CN113376499A | 公开(公告)日: | 2021-09-10 |
发明(设计)人: | 吴向葵;韩勇 | 申请(专利权)人: | 5Dots科技有限公司 |
主分类号: | G01R31/28 | 分类号: | G01R31/28;H01L23/467;H01L23/473 |
代理公司: | 上海海颂知识产权代理事务所(普通合伙) 31258 | 代理人: | 何葆芳 |
地址: | 新加坡宏茂桥第5大道*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 ic 器件 测试 冷却系统 及其 制造 方法 使用方法 | ||
1.一种用于IC器件测试的冷却系统,其特征在于,包括:
一个用于冷却所述IC器件的冷却机构;
一个用于保持所述冷却机构的保持机构;
一个循环器,配置为使传热液体与所述冷却机构相连通;和
一个连接到所述循环器的散热装置;
其中,所述冷却机构、保持机构和循环器具有紧凑结构。
2.根据权利要求1所述的冷却系统,其特征在于,所述冷却机构包括:
一个流入通道,以使所述传热液体流入所述冷却机构;和
一个流出通道,以使得所述传热液体从所述冷却机构流出;
其中,所述流入通道与所述流出通道在所述IC器件之前相分离。
3.根据权利要求1所述的冷却系统,其特征在于,所述保持机构还包括:
一个对准框架,能被配置在一个印刷电路板的测试插座之上;
一个主体,能被配置在所述对准框架之上;和
一个螺纹旋钮,能被配置在所述主体之上;
其中,所述对准框架通过第一紧固件可拆卸地固定于所述测试插座上。
4.根据权利要求3所述的冷却系统,其特征在于:所述保持机构还包括一个器件推进器,以用于在所述IC器件和印刷电路板之间形成可靠的电连接。
5.根据权利要求4所述的冷却系统,其特征在于:所述器件推进器包括一个自动对准面,以用于使所述冷却系统适应所述IC器件的高度。
6.根据权利要求1所述的冷却系统,其特征在于,所述冷却机构还包括:
一个与所述IC器件相接触的冷却板;
一个安装在所述冷却板上的冷却容器;和
一个安装在所述冷却板上的冷却通道。
7.根据权利要求6所述的冷却系统,其特征在于:所述冷却板包括一个凹槽,以用于使所述传热液体与所述IC器件之间进行热交换。
8.根据权利要求6所述的冷却系统,其特征在于,所述冷却容器包括:
第一腔室,以用于在所述传热液体流入所述冷却板之前临时储存所述传热液体;和
第二腔室,以用于在所述传热液体流出所述冷却容器之前临时储存所述传热液体。
9.根据权利要求8所述的冷却系统,其特征在于:所述第一腔室在所述冷却容器的底部具有多个喷孔,以用于将所述传热液体推入所述冷却板的凹槽中。
10.根据权利要求6所述的冷却系统,其特征在于:
所述冷却通道还包括一个温度监测装置,以用于监测所述传热液体的温度。
11.根据权利要求6所述的冷却系统,其特征在于:循环器包括一个安装在所述冷却通道上的冷却泵头,以用于容纳一个冷却泵;所述冷却泵头包括一个泵入口和一个泵出口,其分别与述流入通道和流出通道相连。
12.根据权利要求11所述的冷却系统,其特征在于:散热装置包括一个连接到所述冷却泵头的散热器。
13.一种权利要求1至12中任一项所述的用于IC器件测试的冷却系统的制造方法,其特征在于,所述制造方法包括:
提供一个保持机构、一个冷却机构、一个循环器和一个散热装置;和
组装所述保持机构、冷却机构、循环器和散热装置;
其中,所述保持机构和所述冷却机构被配置为组装成一个紧凑结构。
14.根据权利要求13所述的制造方法,其特征在于,所述保持机构由以下步骤制成:
准备一个对准框架;
将一个器件推进器置于所述对准框架中;
将一个主体与所述对准框架和器件推进器相固定;和
将一个螺纹旋钮安装于所述主体上。
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