[发明专利]多个等离激元共振特性的金/银纳米岛膜及其制备方法

权利要求书

1.多个等离激元共振特性的金/银纳米岛膜的制备方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：

步骤一、将ITO玻璃分别浸泡在酒精和去离子水中，并超声清洗，氮气吹干备用；

步骤二、将干净的ITO玻璃以及金/银靶材放入多源有机气相沉积系统的腔体中，抽真空至3×10^-4Pa；

步骤三、以7A/4min速度给钨舟加电流，同时观察膜厚检测仪显示的蒸镀速度；

步骤四、达到所需蒸镀速度后，预蒸镀10nm厚度，待速度稳定后打开挡板开始蒸镀，得到所需膜厚，关闭挡板；

步骤五、将薄膜从蒸镀腔取出进行退火，退火过程分为三步：以5℃/min的速度升温到退火温度，在退火温度下保持30min，再从退火温度降温到室温；

步骤六、最终金/银纳米岛膜上可调的LSPR是通过控制步骤四中的蒸镀速度和薄膜厚度得到的。

2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，蒸镀速度为金薄膜厚度为4nm～8nm，银薄膜厚度为6nm～10nm。

3.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，金薄膜退火温度是350℃，银薄膜退火温度是300℃。

4.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，金/银靶材的纯度为99.999％。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的方法制备金/银纳米岛膜，其特征在于，金纳米岛膜具有三个LSPR，其中心波长分别位于316nm、407nm及可调的540nm～600nm；银纳米岛膜具有两个LSPR，其中心波长分别位于354nm及可调的440nm～580nm。