[发明专利]一种硒纳米线光电检测器及制备方法有效

专利信息
申请号: 202010118719.0 申请日: 2020-02-26
公开(公告)号: CN111384213B 公开(公告)日: 2021-02-26
发明(设计)人: 雷炜斌;齐瑞娟;成岩;张媛媛;黄荣 申请(专利权)人: 华东师范大学
主分类号: H01L31/18 分类号: H01L31/18;H01L31/108;H01L31/0272;B82Y40/00;B82Y15/00
代理公司: 上海蓝迪专利商标事务所(普通合伙) 31215 代理人: 徐筱梅;张翔
地址: 200241 *** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 纳米 光电 检测器 制备 方法
【权利要求书】:

1.一种硒纳米线光电检测器的制备方法,其特征在于,该方法包括以下具体步骤:

步骤1:在室温条件下,将硒脲溶解在蒸馏水中形成溶液,然后置于磁力搅拌器上搅拌,获得砖红色无定形硒球;其中,搅拌时间30-60min,转速为750-900rpm;溶液浓度0.01-0.1mol/L;

步骤2:将步骤1的无定形硒球分散在去离子水和无水乙醇中进行反复三次超声洗涤和离心;在黑暗中静置,获得硒纳米线;其中,离心的转速为6000~8000转/min,时间为3~5min;静置时间为4h-48h,静置温度为室温;

步骤3:利用磁控溅射在玻璃片上沉积金属电极;

步骤4:在光学显微镜下,从步骤2所制备的硒纳米线中挑选出单根硒纳米线;

步骤5:在光学显微镜下,利用微操作机械手将步骤4所选取的单根硒纳米线转移至步骤3玻璃片的电极上,纳米线的两端分别搭在相邻的电极上;

步骤6:将步骤5所述玻璃片转移到聚焦离子束显微镜中,通过电子束在纳米线的两端沉积金属材料,制得所述硒纳米线光电检测器;其中:

所述步骤3具体包括:

A1:将玻璃片放入无水乙醇中,并超声清洗5-10min,玻璃片的长度为0.5-1.5cm,宽度为0.5-1.5cm,高度0.05-0.15cm;

A2:利用磁控溅射设备通过掩模版在玻璃上沉积两个金属电极,金属为Al或Au,电极的距离为10-20μm,电极长度为3-20μm,宽度为3-20μm,高度为1-2μm;

所述步骤4具体包括:

B1:取0.8-1.2mg步骤2所制备的硒纳米线分散于2-3ml无水乙醇中,并超声5-10min使其充分分散;

B2:将玻璃片用去离子水清洗干净,并烘干;

B3:用移液枪吸取B1中含有硒纳米线的液体滴在玻璃片上,并在室温下让无水乙醇自然挥发干燥;

B4:将B3中滴有硒纳米线的玻璃片放置在光学显微镜下;

B5:在光学显微镜下,利用微操作机械手静电吸附单根硒纳米线,所述单根硒纳米线的长度为15-25μm;

步骤6所述在纳米线的两端沉积金属材料,其金属材料为Pt或W,沉积的长度、宽度为0.5-1μm,厚度为0.3-1μm。

2.一种权利要求1所述方法制得的硒纳米线光电检测器。

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