[发明专利]一种用于制作高灵敏度水声换能器的敏感元件及其制备方法

权利要求书

1.一种用于制作高灵敏度水声换能器的敏感元件，其特征在于，包括带基底的压电小柱阵列，以及固定安装在压电小柱阵列的上表面的金属板；所述压电小柱阵列中压电小柱之间的缝隙内填充空气。

2.根据权利要求1所述的敏感元件，其特征在于，所述带基底的压电小柱阵列采用的压电材料为压电陶瓷或压电单晶。

3.根据权利要求1所述的敏感元件，其特征在于，所述带基底的压电小柱阵列和所述金属板的外形为下列中的一种：正方形、长方形或圆形。

4.根据权利要求1所述的敏感元件，其特征在于，所述基底的下表面镀有电极。

5.一种制备权利要求1所述用于制作高灵敏度水声换能器的敏感元件的方法，其特征在于，包括以下步骤：

沿着X方向切割已在厚度方向极化的上下表面镀有电极的压电材料片；

沿着Y方向切割压电材料片，形成带基底的压电小柱阵列；

在压电小柱阵列的上表面粘接金属板。

6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，还包括在所述基底的下表面镀电极的步骤。

7.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述压电材料为压电陶瓷或压电单晶。

8.一种水声换能器，其特征在于，包括权利要求1～4中任一权利要求所述的用于制作高灵敏度水声换能器的敏感元件，所述敏感元件的上下表面引出电极引线，所述敏感元件下表面粘接吸声层和金属后盖板，所述敏感元件、吸声层和金属后盖板外部设有防水透声层。

9.根据权利要求8所述的水声换能器，其特征在于，所述吸声层为硬质泡沫，所述金属后盖板的材质为不锈钢。

10.根据权利要求8所述的水声换能器，其特征在于，所述防水透声层采用聚氨酯胶封并固化形成。