[发明专利]用于减少在管芯级激光剥离期间所受机械损伤的蓝宝石收集器

权利要求书

1.一种收集器系统，包括容器和第一喷嘴，

该容器包括：

顶部表面，限定第一开口，

底部表面，限定第二开口，

多个侧表面，所述多个侧表面中的第一侧表面在所述容器的上半部分中限定第三开口，并且与所述多个侧表面中的所述第一侧表面相对的所述多个侧表面中的第二侧表面限定第四开口，

腔，在所述第一开口和所述第二开口之间延伸通过所述容器，

第一隧道，在所述第三开口和所述腔之间延伸，和

第二隧道，在所述第四开口和所述腔之间延伸；并且

该第一喷嘴至少部分地在所述第一隧道中，并且成角度地朝向所述容器的所述底部表面。

2.根据权利要求1所述的收集器系统，其中所述第一喷嘴以≤90°的角度成角度地朝向所述容器的所述底部表面。

3.根据权利要求1所述的收集器系统，其中所述第一喷嘴具有狭缝，该狭缝贯穿所述第一喷嘴而形成，并且所述狭缝具有在50 µm与100 µm之间的厚度。

4.根据权利要求1所述的收集器系统，其中：

所述多个侧表面中的所述第一侧表面还在所述容器的下半部分中限定第五开口，

所述容器还包括第三隧道，所述第三隧道在所述第五开口和所述腔之间延伸，和

所述收集器系统还包括第二喷嘴，所述第二喷嘴至少部分地在所述第三隧道中，并且成角度地朝向所述容器的所述顶部表面。

5.根据权利要求4所述的收集器系统，其中所述第二喷嘴以≤90°的角度成角度地朝向所述容器的所述顶部表面。

6.根据权利要求4所述的收集器系统，其中所述第二喷嘴具有狭缝，该狭缝贯穿所述第二喷嘴而形成，并且所述狭缝具有在50 µm与100 µm之间的厚度。

7.根据权利要求1所述的收集器系统，其中所述第二隧道包括：

第一部分，邻近所述第四开口，具有基本一致的直径，和

第二部分，在所述第一部分和所述腔之间，具有从所述腔到所述第一部分的向外逐渐变窄的直径，并且与所述容器的所述顶部表面中的所述第一开口和所述容器的所述底部表面中的所述第二开口接合。

8.根据权利要求1所述的收集器系统，还包括在所述容器的所述顶部表面中的所述第一开口之上或之中的透镜和格栅中的至少一个。

9.根据权利要求1所述的收集器系统，其中所述第一隧道被配置成在所述收集器系统的操作期间接收气流，并且所述第二隧道被配置成在所述收集器系统的操作期间保持真空。

10.根据权利要求9所述的收集器系统，其中所述气流在操作期间具有-0.6 MPa的压力，并且所述真空在所述收集器系统的操作期间-6 kPa。

11.根据权利要求1所述的收集器系统，其中所述第一隧道被配置成在所述收集器系统的操作期间接收具有-0.6 MPa的压力的气流，并且第二隧道被配置成在所述收集器系统的操作期间保持-6 kPa的真空。