[发明专利]检查装置中的清洁方法和检查装置有效
| 申请号： | 202010121103.9 | 申请日： | 2020-02-26 |
| 公开（公告）号： | CN111650405B | 公开（公告）日： | 2023-04-28 |
| 发明（设计）人： | 中山博之 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | G01R1/02 | 分类号： | G01R1/02;G01R1/04;G01R1/073;B08B13/00 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 检查 装置 中的 清洁 方法 | ||
本发明提供一种检查装置中的清洁方法和检查装置，不仅能够进行检查装置内的载置台的清洁、还能够进行探针的清洁。用于对形成于被检查体的被检查器件进行电气特性检查的检查装置中的清洁方法包括以下工序：搬送工序，将用于载置所述被检查体的载置台搬送到与具有在所述电气特性检查时同所述被检查器件接触的探针的探针卡相向的位置；接着为剥离准备工序，对所述探针卡与同该探针卡相向的所述载置台之间的空间进行排气、减压；异物剥离工序，向被减压后的所述空间导入气体，来使附着于所述载置台的表面和所述探针的异物剥离；以及异物排出工序，一边维持所述气体向所述空间的导入，一边对该空间进行排气来排出所述异物。
技术领域
本公开涉及一种检查装置中的清洁方法和检查装置。
背景技术
专利文献1的清洁方法为利用被载置于用于载置基板的载置台的清洁晶圆来对该载置台的表面进行清洁的方法。在该方法中，在载置台的表面设置有气体供给口和气体排出口，清洁晶圆具有呈板状的主体以及设置于该主体的吸气排气路径，该吸气排气路径从气体供给口被供给气体，并将供给来的气体排出至气体排出口。而且，使用向吸气排气路径的气体供给和来自吸气排气路径的气体排出来去除附着于载置台的表面的尘埃。
专利文献1：日本特开2018-157131号公报
发明内容
本公开所涉及的技术不仅能够进行检查装置内的载置台的清洁，还能够进行探针的清洁。
本公开的一个方式是用于对形成于被检查体的被检查器件进行电气特性检查的检查装置中的清洁方法，所述清洁方法包括以下工序：搬送工序，将用于载置所述被检查体的载置台搬送到与具有在所述电气特性检查时同所述被检查器件接触的探针的探针卡相向的位置；接着为剥离准备工序，对所述探针卡与同该探针卡相向的所述载置台之间的空间进行排气、减压；异物剥离工序，向被减压后的所述空间导入气体，来使附着于所述载置台的表面和所述探针的异物剥离；以及异物排出工序，一边维持所述气体向所述空间的导入，一边对该空间进行排气来排出所述异物。
根据本公开，不仅能够进行检查装置内的载置台的清洁，还能够进行探针的清洁。
附图说明
图1是表示第一实施方式所涉及的检查装置的结构的概要的俯视横剖视图。
图2是表示第一实施方式所涉及的检查装置的结构的概要的主视纵剖视图。
图3是表示各分割区域内的结构的主视纵剖视图。
图4是图3的局部放大图。
图5是吸盘顶部的侧视图。
图6是吸盘顶部的局部放大截面图。
图7是吸盘顶部的俯视图。
图8是用于说明第一实施方式所涉及的、检查装置中的清洁处理的一例的流程图。
图9是表示检查空间内的压力在清洁处理时的时间变化的图。
图10是第二实施方式所涉及的、被用于检查装置中的清洁处理的气体供给机构的说明图。
图11是说明吸盘顶部的其它例子的侧视图。
图12是说明吸盘顶部的又一其它例子的侧视图。
具体实施方式
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