[发明专利]超细气泡生成装置以及超细气泡生成方法

说明书

提供一种超细气泡生成装置和超细气泡生成方法，其能够有效地生成高纯度的UFB。为此，通过在晶片形式的元件基板上设置壁、盖基板和电极盘来形成腔室。

技术领域

本发明涉及生成直径小于1.0μm的超细气泡的超细气泡生成方法和超细气泡生成装置、以及超细气泡含有液。

背景技术

近来，已经开发出用于应用微细气泡(例如直径为微米尺寸的微气泡和直径为纳米尺寸的纳米气泡)的特征的技术。尤其是，在各个领域中，已经确认了直径小于1.0μm的超细气泡(以下也称为“UFB”)的实用性。

日本专利第6118544号公开了一种微细气泡生成装置，该细微气泡生成装置通过从减压喷嘴喷射将气体加压并溶解的加压液体来生成微细气泡。日本专利第4456176号公开了一种通过利用混合单元重复进行气体混合液流的分离和会聚而生成细微气泡的装置。

发明内容

做出本发明以解决上述问题。因此，本发明的目的是提供一种能够有效地生成高纯度的UFB含有液的超细气泡生成装置和超细气泡生成方法。

本发明的超细气泡生成装置是用于生成超细气泡的超细气泡生成装置，其包括元件基板，该元件基板是通过切片单晶锭而形成的晶片形式的基板，并且该基板上设置有多个通过加热液体而生成超细气泡的加热器和连接到每个加热器的布线。

通过以下参考附图对示例性实施方案的描述，本发明的其他特征将变得明显。

附图说明

图1是表示UFB生成装置的实例的图。

图2是预处理单元的示意性构成图。

图3A和图3B是溶解单元的示意性构成图和用于说明液体中溶解状态的图。

图4是T-UFB生成单元的示意性构成图。

图5A和图5B是用于说明加热元件的细节的图。

图6A和图6B是用于说明加热元件上的膜沸腾的状态的图。

图7A至图7D是表示由膜沸腾气泡的膨胀引起的UFB的生成状态的图。

图8A至图8C是表示由膜沸腾气泡的收缩引起的UFB的生成状态的图。

图9A至图9C是表示由液体的再加热引起的UFB的生成状态的图。

图10A和图10B是表示由膜沸腾生成的气泡消失而生成的冲击波引起的UFB的生成状态的图。

图11A至图11C是表示后处理单元的构成例的图。

图12A和图12B是表示腔室的图。

图13A和13B是表示元件基板的图。

图14是表示形成有壁的元件基板的图。

图15A和15B是表示盖基板的图。

图16A和图16B是表示连接至供给口的供给管和连接至排出口的排出管的图。

图17A和图17B是表示元件基板和柔性布线基板彼此电连接的状态的图。

图18A至图18H是表示按照工序顺序形成腔室的工序的图。

图19A至图19I是表示按照工序顺序形成腔室的工序的图。

图20是表示设置有壁的本实施方案的元件基板的图。

图21A和图21B是表示本实施方案的盖基板的图。

图22A和图22B是表示连接到供给管和排出管的腔室的图。

图23A和图23B是表示连接到柔性布线基板的腔室的图。