[发明专利]超微气泡产生设备

说明书

本发明涉及超微气泡产生设备，其通过使加热元件在液体中产生膜沸腾而产生超微气泡，包括元件基板，元件基板包括设置有多个加热元件的加热部，其中元件基板构造为抑制输入到加热部中的加热元件的能量的变化。

技术领域

本发明涉及一种用于产生直径小于1.0μm的超微气泡的超微气泡产生设备。

背景技术

近年来，已经开发出用于应用微小气泡(例如直径为微米大小的微米气泡和直径为纳米大小的纳米气泡)的特征的技术。尤其是在各个领域中，已经确认了直径小于1.0μm的超微气泡(以下也称为“UFB”)的实用性。

日本专利No.6118544公开了一种微小气泡产生设备，其通过从减压喷嘴喷射加压液体而产生微小气泡，在所述加压液体中气体被加压并溶解。日本专利No.4456176公开了一种设备，其通过利用混合单元将混合有气体的液体流重复地分离和汇合而产生微小气泡。

发明内容

根据本发明一个方面的超微气泡产生设备是一种通过使加热元件在液体中产生膜沸腾而产生超微气泡的超微气泡产生设备，超微气泡产生设备包括元件基板，元件基板包括设置有多个加热元件的加热部，其中元件基板构造为抑制被输入到加热部中的加热元件的能量的变化。

根据以下参考附图对示例性实施例的描述，本发明的其他特征将变得显而易见。

附图说明

图1是示出UFB产生设备的示例的图；

图2是预处理单元的示意性结构图；

图3A和图3B是溶解单元的示意性结构图和用于描述液体中溶解状态的图；

图4是T﹣UFB产生单元的概略构造图；

图5A和图5B是用于描述加热元件的细节的图；

图6A和6B是用于描述加热元件上的膜沸腾状态的图；

图7A至图7D是示出由膜沸腾气泡的膨胀引起的UFB的产生状态的图；

图8A至图8C是示出由膜沸腾气泡的收缩引起的UFB的产生状态的图；

图9A至图9C是示出由液体的再加热引起的UFB的产生状态的图；

图10A和图10B是示出由膜沸腾产生的气泡消失而造成的冲击波引起的UFB的产生状态的图；

图11A至图11C是示出后处理单元的结构示例的图；

图12A和图12B是描述元件基板的布局的图；

图13A和图13B是示出等效电路的图；

图14A至图14C是描述减小布线电阻损失之间的差的示例的图；

图15A至图15F是描述元件基板的布局等的图；

图16A至图16E是描述稳定产生UFB的示例的图；

图17A至图17G是描述稳定产生UFB的示例的图；

图18A至图18C是描述稳定产生UFB的示例的图；

图19A至图19C是描述稳定产生UFB的示例的图；

图20A至图20C是描述稳定产生UFB的示例的图；

图21A至图21D是描述稳定产生UFB的示例的图；

图22A至图22D是描述稳定产生UFB的示例的图；

图23A至图23D是描述稳定产生UFB的示例的图；和

图24A至图24D是描述稳定产生UFB的示例的图。