[发明专利]一种基于磁光表面等离激元共振的生物蛋白传感器

权利要求书

1.一种基于磁光表面等离激元共振的生物蛋白传感器，其特征在于：

结构由下至上依次为衬底层、YIG种子薄膜层、连续磁光介质Ce:YIG层和六方周期Au孔洞结构层；

所述衬底层为能使YIG结晶的衬底材料；

所述六方周期Au孔洞结构层周期为500～550nm，孔洞直径为340～400nm，厚度为30～50nm；六方周期Au孔洞结构层分别满足入射光波矢与空气层和Ce:YIG薄膜界面层的SPP波矢匹配，以激发Au和Ce:YIG表面传播型表面等离激元；

所述连续磁光介质Ce:YIG层厚度50～80nm，YIG种子层薄膜层厚度为40～80nm；且YIG和Ce:YIG均为结晶态，YIG以及Ce:YIG作为磁光材料薄膜，在外磁场作用下产生磁光效应；

所述表面等离激元的激发来自入射角度在0～90°之间的TM电磁波与器件表面SPP波矢匹配，入射角度不取0°和90°。

2.如权利要求1所述基于磁光表面等离激元共振的生物蛋白传感器，其特征在于：

所述六方周期Au孔洞结构层由直径500～550nm的聚苯乙烯Polystyrene制成的小球均匀排布在磁光介质Ce:YIG层表面，通过氧等离子体进刻蚀得到直径为340～400nm孔洞结构，再沉积30～50nm金属Au后剥离聚苯乙烯小球制得。

3.如权利要求1所述基于磁光表面等离激元共振的生物蛋白传感器，其特征在于：所述衬底层为Si衬底。