[发明专利]一种双面OLED显示结构及制作方法在审
申请号: | 202010123837.0 | 申请日: | 2020-02-27 |
公开(公告)号: | CN111162112A | 公开(公告)日: | 2020-05-15 |
发明(设计)人: | 阮桑桑;苏智昱;黄志杰 | 申请(专利权)人: | 福建华佳彩有限公司 |
主分类号: | H01L27/32 | 分类号: | H01L27/32 |
代理公司: | 福州市景弘专利代理事务所(普通合伙) 35219 | 代理人: | 徐剑兵;张忠波 |
地址: | 351100 福*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 双面 oled 显示 结构 制作方法 | ||
本发明公开一种双面OLED显示结构及制作方法,其中制作方法包括如下步骤:在基板上制作栅极;在栅极上制作层间绝缘层;在层间绝缘层上制作有源层;在层间绝缘层上制作第一阴极;在有源层上制作源极和漏极;在源极、漏极、第一阴极和有源层上制作钝化层;在钝化层上制作平坦层;在平坦层上制作第一OLED发光层,第一OLED发光层连接第一阴极;在平坦层上制作阳极,阳极连接第一OLED发光层和的源极;在阳极上制作画素定义层;在画素定义层上制作第二OLED发光层,第二OLED发光层连接阳极,在第二OLED发光层上制作第二阴极。上述技术方案使用一个TFT来控制OLED屏的双面同时显示,该双面OLED结构的厚度可以比传统技术中两个OLED进行机械连接的结构薄,并降低成本。
技术领域
本发明涉及微电子技术领域,尤其涉及一种双面OLED显示结构及制作方法。
背景技术
有机发光二极管(Organic Light-Emitting Diode,OLED)又称为有机电激光显示、有机发光半导体。由美籍华裔教授邓青云(Ching W.Tang)于1979年在实验室中发现。OLED显示技术具有自发光、广视角、几乎无穷高的对比度、较低耗电、极高反应速度等优点。
双面显示已成为广告牌,标签等银行和超市交易市场的主流显示。为了实现双面发光通常采用机械连接方式,将两个OLED封装在一起,或者将2个封装好的单个OLED粘结在一起,这样会增加显示装置的厚度。
发明内容
为此,需要提供一种双面OLED显示结构及制作方法,解决OLED屏的双面同时显示使得显示屏过厚的问题。
为实现上述目的,发明人提供了一种双面OLED显示结构制作方法,包括如下步骤:
在基板上制作栅极;
在栅极上制作覆盖栅极的层间绝缘层;
在层间绝缘层上制作有源层,有源层在栅极的上方,将栅极外侧的有源层导体化,形成第一阴极,第一阴极为透光;
在有源层上沉积金属,制作源极和漏极,栅极、源极和漏极组成TFT;
在源极、漏极和第一阴极上制作覆盖源极、漏极和第一阴极的钝化层;
在钝化层上制作平坦层,在钝化层和平坦层上制作与第一阴极连通的第一孔和与源极连通的第二孔;
在第一孔中制作第一OLED发光层,第一OLED发光层与第一阴极连接;
在平坦层上制作不透光的阳极,阳极连接第一OLED发光层以及阳极通过第二孔连接源极,第一阴极、第一OLED发光层和阳极组成第一OLED器件;
在阳极上制作覆盖阳极的画素定义层,在画素定义层上制作与阳极连通的第三孔,在第三孔中制作第二OLED发光层,第二OLED发光层与阳极连接;
在第二OLED发光层上制作透光的第二阴极,第二阴极、第二OLED发光层和阳极组成第二OLED器件。
进一步地,在层间绝缘层上制作有源层,有源层在栅极的上方,将栅极外侧的有源层导体化,形成第一阴极时,还包括如下步骤:
在层间绝缘层上沉积有源层,在有源层上涂布光阻,使用半色调掩膜板对光阻进行曝光和显影,使得栅极上面的有源层上的光阻厚度大于栅极外侧的有源层上的光阻厚度,蚀刻去除没有光阻覆盖的有源层和栅极外侧的有源层上的光阻;
使栅极外侧的有源层导体化,形成第一阴极;
去除有源层上的光阻。
进一步地,所述第二OLED发光层在所述第一OLED发光层的正上方。
进一步地,所述阳极的材料为金属材料。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的