[发明专利]一种可移动刀口模块及可变狭缝系统

权利要求书

1.一种可移动刀口模块，应用于光刻工艺，其特征在于，包括：

第一定子单元，包括相对设置的两组第一定子线圈以及冷却板，所述第一定子线圈采用高导磁性材料作为铁芯，所述冷却板贴合于所述第一定子线圈设置；

第一动子单元，包括第一动子磁钢，所述第一动子磁钢沿第一方向可移动地设置于所述两组第一定子线圈之间，所述第一定子单元与所述第一动子单元组成一动磁铁形式的直线电机；以及

刀口组件，包括：刀片、刀口支架、第一框架以及冷却液分流块，所述刀片与所述刀口支架连接，所述刀口支架设置于所述第一框架上，所述第一框架与所述第一动子磁钢连接，所述冷却液分流块设置于所述刀口支架上；所述刀口组件被配置为，在所述第一定子单元和所述第一动子单元的驱动下沿所述第一方向移动。

2.根据权利要求1所述的可移动刀口模块，其特征在于，所述第一框架沿所述第一方向的侧面和底面均设有气浮导轨面，用于与一气浮导轨相匹配；所述第一框架包括磁预载，所述磁预载设置于所述第一框架的底面和/或侧面，用以提供预载力。

3.根据权利要求1所述的可移动刀口模块，其特征在于，所述刀片具有沿所述第一方向设置的第一段，以及沿第二方向设置的第二段；其中所述第二方向垂直于所述第一方向。

4.根据权利要求1所述的可移动刀口模块，其特征在于，所述刀片固定设置于所述第一框架上，所述第一框架沿第二方向可移动地与所述第一动子磁钢连接。

5.根据权利要求1所述的可移动刀口模块，其特征在于，所述刀口组件还包括机械限位块以及光栅尺，所述机械限位块位于所述刀口组件上，并沿所述第一方向设置，用于限制所述刀口组件的位移。

6.一种可变狭缝系统，其特征在于，包括：

基座；以及

两组可移动刀口模块组，所述可移动刀口模块组设置于所述基座上，每组所述可移动刀口模块组包括至少一个根据权利要求1～5中任一项所述的可移动刀口模块。

7.根据权利要求6所述的可变狭缝系统，其特征在于，一组所述可移动刀口模块组沿X向排布，另一组所述移动刀口模块组沿Y向排布，其中所述X向垂直于所述Y向。

8.根据权利要求7所述的可变狭缝系统，其特征在于，每组所述可移动刀口模块组包括两个相对布置的所述可移动刀口模块。

9.根据权利要求6所述的可变狭缝系统，其特征在于，所述基座包括气浮导轨，所述气浮导轨设置于所述基座上；所述可移动刀口模块的刀口组件还包括第一框架，所述第一框架沿所述第一方向的侧面和底面均设有气浮导轨面，所述气浮导轨面与所述气浮导轨相匹配。

10.根据权利要求6所述的可变狭缝系统，其特征在于，两组所述可移动刀口模块组沿Z向共面布置或异面布置，其中所述Z向分别垂直于X向和Y向。

11.根据权利要求6所述的可变狭缝系统，其特征在于，所述刀口组件还包括刀片，所述刀片与所述第一动子磁钢连接；所述刀片具有沿X向设置的第一段，以及沿Y向设置的第二段；每组所述可移动刀口模块组包括一个所述可移动刀口模块，所述可移动刀口模块沿所述X向可移动地设置于所述基座上，所述第一动子磁钢沿Y向排布；其中，所述Y向垂直于所述X向；两组所述可移动刀口模块组均沿所述Y向排布。

12.根据权利要求11所述的可变狭缝系统，其特征在于，所述可移动刀口模块组还包括第一导轨和第一滑台，所述第一导轨沿所述X向设置于所述基座上，所述第一滑台可移动地设置于所述第一导轨上并沿X向移动，所述可移动刀口模块与所述第一滑台连接。