[发明专利]一种机械手臂装置及减少其晃动与振动的方法

权利要求书

1.一种机械手臂装置，用于夹持晶圆托篮进行移动，其特征在于：包括用于夹持晶圆(6)托篮(7)的夹持机构(1)、用于驱动夹持机构(1)进行夹持运作的驱动机构(2)、固定在驱动机构(2)底部用于升降驱动的升降机构(3)以及固定于升降机构(3)一侧用于横向移动驱动的横向移动机构(4)；

所述横向移动机构(4)包括与湿法设备相连接的横板(43)，所述横板(43)中间横向设置有齿条(45)，所述齿条(45)的两侧分别平行设置有一个第二导轨(44)，所述第二导轨(44)上滑动连接有第二滑块(46)，所述第二滑块(46)与升降机构(3)相固定，所述升降机构(3)上设置有用于输出横向驱动力的第二伺服电机(41)，所述第二伺服电机(41)通过第二驱动组件(42)连接有与齿条(45)相啮合的齿轮，所述横板(43)上设置有用于检测横向移动距离的第二检测头(48)；

所述升降机构(3)包括与第二滑块(46)相固定的立板(32)，所述立板(32)的一侧设置有用于输出升降驱动力的第一伺服电机(37)，所述第一伺服电机(37)通过第一驱动组件(38)连接有位于立板(32)一侧中间位置的螺杆(36)，所述螺杆(36)上螺纹连接有滑动座(33)，所述螺杆(36)的两侧分别平行设置有一个第一导轨(35)，所述滑动座(33)靠近立板(32)的一侧固定连接有与第一导轨(35)滑动连接的第一滑块(34)，所述滑动座(33)的顶部固定连接有套杆(31)，所述套杆(31)的内径大于螺杆(36)的直径，所述立板(32)上设置有用于检测升降移动距离的第一检测头(39)；

所述驱动机构(2)包括与套杆(31)顶部固定相连的底板(21)，所述底板(21)顶部两侧分别固定有固定板(22)，所述底板(21)顶部中间设置有气缸(23)，所述气缸(23)的输出轴连接有驱动块(28)，所述驱动块(28)横截面设置为梯形结构，所述气缸(23)输出轴伸出方向平行的两侧分别设置有一个穿过固定板(22)的转杆(29)，所述转杆(29)位于两个固定板(22)之间的部分固定连接有转动块(24)，所述转动块(24)顶部一侧设置有与驱动块(28)相贴合的滚轮(25)，所述转杆(29)与固定板(22)的连接处设置有六角块(27)，所述六角块(27)上设置有与固定板(22)相连接的拉簧(26)；

所述夹持机构(1)包括与转杆(29)相固定的连接座(11)，所述连接座(11)底部固定连接有用于直接夹持晶圆(6)托篮(7)的夹杆(12)。

2.根据权利要求1所述的一种机械手臂装置，其特征在于：所述立板(32)下方设置有用于收纳线缆的拖链(5)。

3.根据权利要求1所述的一种机械手臂装置，其特征在于：所述第二驱动组件(42)包括与第二伺服电机(41)的输出轴相连接的第二主动带轮，所述第二主动带轮通过皮带连接有第二从动带轮，所述第二从动带轮与齿轮相连接。

4.根据权利要求1所述的一种机械手臂装置，其特征在于：所述第一驱动组件(38)包括设置在第一伺服电机(37)底部的第一主动带轮，所述第一主动带轮通过皮带连接有固定在螺杆(36)底部的第一从动带轮。

5.根据权利要求1所述的一种机械手臂装置，其特征在于：两个转杆(29)上分别连接有两个连接座(11)，每个连接座(11)上分别连接有一个夹杆(12)。

6.根据权利要求5所述的一种机械手臂装置，其特征在于：所述夹杆(12)设置为“凵”字型。