[发明专利]用于MOCVD的MO源瓶串行供源装置

权利要求书

1.一种用于MOCVD的MO源瓶串行供源装置，与常规MO源罐阀组单元面板相匹配，所述常规MO源罐阀组单元面板上设置有载气进气端母头（1）及载气出气端母头（2），其特征在于：装置包括两组相互连通的管路组件，每组所述管路组件中均包括一个隔膜阀、两个连接母头以及一个连接公头，其中一组所述管路组件中的连接公头与所述载气进气端母头（1）相连接，另一组所述管路组件中的连接公头与所述载气出气端母头（2）相连接，每组所述管路组件中的两个连接母头均与一MO源瓶管路连接。

2.根据权利要求1所述的用于MOCVD的MO源瓶串行供源装置，其特征在于：包括第一管路组件及第二管路组件，所述第一管路组件与所述第二管路组件对称设置且二者通过连接管路相连通。

3.根据权利要求2所述的用于MOCVD的MO源瓶串行供源装置，其特征在于：所述第一管路组件包括第一隔膜阀（3）、第一连接母头（4）、第二连接母头（5）以及第一连接公头（6），所述第一隔膜阀（3）的一侧端口通过连接管路与所述第二连接母头（5）相连通，所述第一隔膜阀（3）的另一侧端口通过连接管路分别与所述第一连接公头（6）及所述第一连接母头（4）相连通，所述第一隔膜阀（3）、所述第一连接公头（6）及所述第一连接母头（4）三者借助一三通接头相连接。

4.根据权利要求3所述的用于MOCVD的MO源瓶串行供源装置，其特征在于：所述第一管路组件通过MO源罐脚柱与第一MO源瓶（11）管路连接，所述MO源罐脚柱上设置有用于控制所述第一MO源瓶（11）开闭的进气阀门与出气阀门，所述第一管路组件中的所述第一连接母头（4）与所述MO源罐脚柱上的MO源出气端公头（14）相连接，所述第一管路组件中的所述第二连接母头（5）与所述MO源罐脚柱上的MO源进气端公头（13）相连接。

5.根据权利要求4所述的用于MOCVD的MO源瓶串行供源装置，其特征在于：所述第二管路组件包括第二隔膜阀（7）、第三连接母头（8）、第四连接母头（9）以及第二连接公头（10），所述第二隔膜阀（7）的一侧端口通过连接管路与所述第三连接母头（8）相连通，所述第一隔膜阀（3）的另一侧端口通过连接管路分别与所述第二连接公头（10）及所述第四连接母头（9）相连通，所述第二隔膜阀（7）、所述第二连接公头（10）及所述第四连接母头（9）三者借助一三通接头相连接。

6.根据权利要求5所述的用于MOCVD的MO源瓶串行供源装置，其特征在于：所述第二管路组件通过MO源罐脚柱与第二MO源瓶（12）管路连接，所述MO源罐脚柱上设置有用于控制所述第二MO源瓶（12）开闭的进气阀门与出气阀门，所述第二管路组件中的所述第四连接母头（9）与所述MO源罐脚柱上的MO源出气端公头（14）相连接，所述第一管路组件中的所述第三连接母头（8）与所述MO源罐脚柱上的MO源进气端公头（13）相连接。

7.根据权利要求5所述的用于MOCVD的MO源瓶串行供源装置，其特征在于：所述第一隔膜阀（3）的一侧端口通过连接管路与所述第二隔膜阀（7）的一侧端口相连接。

8.根据权利要求1所述的用于MOCVD的MO源瓶串行供源装置，其特征在于：每组所述管路组件中的隔膜阀均为316L VIM-VAR 不锈钢隔膜阀。

9.根据权利要求1所述的用于MOCVD的MO源瓶串行供源装置，其特征在于：每组所述管路组件中的连接母头、连接公头及连接管路均为电抛光至 0.25µm / 10µin. Ra的无缝超高纯316L、1/4in不锈钢连接件。