[发明专利]控制直写式曝光机软件升级的方法、控制单元和曝光机在审
申请号: | 202010128774.8 | 申请日: | 2020-02-28 |
公开(公告)号: | CN111399869A | 公开(公告)日: | 2020-07-10 |
发明(设计)人: | 张玉喆 | 申请(专利权)人: | 合肥芯碁微电子装备股份有限公司 |
主分类号: | G06F8/65 | 分类号: | G06F8/65;G05B19/05 |
代理公司: | 北京景闻知识产权代理有限公司 11742 | 代理人: | 贾玉姣 |
地址: | 230088 安徽省合肥市高新区*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 控制 直写式 曝光 软件 升级 方法 单元 | ||
1.一种控制直写式曝光机软件升级的方法,其特征在于,直写式曝光机包括至少一个核心控制单元,每个所述核心控制单元包括传输接口和存储器,所述存储器包括升级程序存储区,所述方法包括:
至少一个所述核心控制单元响应于更新启动指令,擦除所述升级程序存储区的数据;
所述核心控制单元通过所述传输接口获取到更新程序数据,并将所述更新程序数据写入所述升级程序存储区;
所述核心控制单元产生自启动使能信号,以重新加载所述升级程序存储区的程序。
2.根据权利要求1所述的控制直写式曝光机软件升级的方法,其特征在于,所述存储器还包括基础程序存储区,所述方法还包括:
所述核心控制单元判断自启动是否成功;
所述核心控制单元确定自启动失败,则启动所述基础程序存储区的基础程序,或者,发送更新请求。
3.根据权利要求2所述的控制直写式曝光机软件升级的方法,其特征在于,所述方法还包括:
所述核心控制单元响应于启动指令,启动所述升级程序存储区的程序;
所述核心控制单元确定所述升级程序存储区的程序启动失败,切换至启动所述基础程序存储区的程序。
4.根据权利要求1所述的控制直写式曝光机软件升级的方法,其特征在于,所述核心控制单元为多个,多个所述核心控制单元响应于所述更新启动指令,同时启动软件更新功能并进行软件更新。
5.一种非临时性计算机存储介质,其上存储有计算机程序,其特征在于,所述计算机程序被执行时,实现权利要求1-4任一项所述的控制直写式曝光机软件升级的方法。
6.一种核心控制单元,其特征在于,包括:
传输接口,用于接收更新程序数据;
存储器,包括升级程序存储区和基础程序存储区;
控制芯片,用于执行权利要求1-4任一项所述的控制直写式曝光机软件升级的方法。
7.根据权利要求6所述的核心控制单元,其特征在于,所述控制芯片包括现场可编程门阵列。
8.一种直写式曝光机,其特征在于,包括:
光源、曝光光路、位移平台;
工控机,用于发送更新程序数据;
至少一个如权利要求6或7所述的核心控制单元,所述核心控制单元通过传输接口获取所述更新程序数据,以进行程序更新。
9.根据权利要求8所述的直写式曝光机,其特征在于,还包括:
更新启动单元,用于接收用户输入,并根据用户输入生成更新启动指令。
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