[发明专利]控制直写式曝光机软件升级的方法、控制单元和曝光机在审

专利信息
申请号: 202010128774.8 申请日: 2020-02-28
公开(公告)号: CN111399869A 公开(公告)日: 2020-07-10
发明(设计)人: 张玉喆 申请(专利权)人: 合肥芯碁微电子装备股份有限公司
主分类号: G06F8/65 分类号: G06F8/65;G05B19/05
代理公司: 北京景闻知识产权代理有限公司 11742 代理人: 贾玉姣
地址: 230088 安徽省合肥市高新区*** 国省代码: 安徽;34
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摘要:
搜索关键词: 控制 直写式 曝光 软件 升级 方法 单元
【权利要求书】:

1.一种控制直写式曝光机软件升级的方法,其特征在于,直写式曝光机包括至少一个核心控制单元,每个所述核心控制单元包括传输接口和存储器,所述存储器包括升级程序存储区,所述方法包括:

至少一个所述核心控制单元响应于更新启动指令,擦除所述升级程序存储区的数据;

所述核心控制单元通过所述传输接口获取到更新程序数据,并将所述更新程序数据写入所述升级程序存储区;

所述核心控制单元产生自启动使能信号,以重新加载所述升级程序存储区的程序。

2.根据权利要求1所述的控制直写式曝光机软件升级的方法,其特征在于,所述存储器还包括基础程序存储区,所述方法还包括:

所述核心控制单元判断自启动是否成功;

所述核心控制单元确定自启动失败,则启动所述基础程序存储区的基础程序,或者,发送更新请求。

3.根据权利要求2所述的控制直写式曝光机软件升级的方法,其特征在于,所述方法还包括:

所述核心控制单元响应于启动指令,启动所述升级程序存储区的程序;

所述核心控制单元确定所述升级程序存储区的程序启动失败,切换至启动所述基础程序存储区的程序。

4.根据权利要求1所述的控制直写式曝光机软件升级的方法,其特征在于,所述核心控制单元为多个,多个所述核心控制单元响应于所述更新启动指令,同时启动软件更新功能并进行软件更新。

5.一种非临时性计算机存储介质,其上存储有计算机程序,其特征在于,所述计算机程序被执行时,实现权利要求1-4任一项所述的控制直写式曝光机软件升级的方法。

6.一种核心控制单元,其特征在于,包括:

传输接口,用于接收更新程序数据;

存储器,包括升级程序存储区和基础程序存储区;

控制芯片,用于执行权利要求1-4任一项所述的控制直写式曝光机软件升级的方法。

7.根据权利要求6所述的核心控制单元,其特征在于,所述控制芯片包括现场可编程门阵列。

8.一种直写式曝光机,其特征在于,包括:

光源、曝光光路、位移平台;

工控机,用于发送更新程序数据;

至少一个如权利要求6或7所述的核心控制单元,所述核心控制单元通过传输接口获取所述更新程序数据,以进行程序更新。

9.根据权利要求8所述的直写式曝光机,其特征在于,还包括:

更新启动单元,用于接收用户输入,并根据用户输入生成更新启动指令。

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