[发明专利]固晶摆臂系统及固晶机

权利要求书

1.固晶摆臂系统，其特征在于：包括摆臂、吸嘴组件、预压组件、感应组件及控制系统；所述吸嘴组件滑动设于所述摆臂一端并用于吸取晶片，所述预压组件用于对所述吸嘴组件施压一预设压力，所述感应组件用于感应所述吸嘴组件的受力状态，并在所述晶片对所述吸嘴组件的反弹力大于所述预设压力时将这一状态信息反馈至控制系统，所述控制系统根据所述状态信息调节所述摆臂及所述预压组件工作；所述预压组件为气压式预压组件；所述预压组件包括安装于所述摆臂上的套管，连接于所述套管一端并用于与外部气源连接的连接头，以及连接于所述套管另一端并抵接于所述吸嘴组件的顶杆。

2.如权利要求1所述的固晶摆臂系统，其特征在于：所述感应组件固定于所述摆臂一端，所述吸嘴组件活动抵持于所述感应组件，并在所述晶片对所述吸嘴组件的反弹力大于所述预设压力时从所述感应组件上脱离。

3.如权利要求2所述的固晶摆臂系统，其特征在于：所述吸嘴组件包括滑动板、吸嘴板及吸嘴，所述滑动板滑动设于所述摆臂上，所述吸嘴板安装于所述滑动板上，所述吸嘴设于所述吸嘴板上，所述预压组件施压于所述吸嘴板上以使所述吸嘴板活动抵持于所述感应组件上。

4.如权利要求3所述的固晶摆臂系统，其特征在于：所述感应组件包括固定板及限位板，所述固定板固定于所述摆臂上，所述限位板安装于所述固定板上，所述吸嘴板活动抵持于所述限位板上并可在所述晶片的反弹力大于所述预设压力时脱离所述限位板。

5.如权利要求4所述的固晶摆臂系统，其特征在于：所述吸嘴板设于所述摆臂一端底侧，所述吸嘴板的底侧中心开设于容纳槽，所述限位板插入所述容纳槽中并与所述吸嘴板抵接，所述预压组件和所述吸嘴分别设于所述限位板的相对两侧。

6.如权利要求2所述的固晶摆臂系统，其特征在于：所述吸嘴组件上设有第一感应件，所述感应组件上设有第二感应件，所述第一感应件与所述第二感应件相互感应并可在所述吸嘴组件脱离所述感应组件时将这一状态信息反馈至所述控制系统。

7.如权利要求1所述的固晶摆臂系统，其特征在于：所述摆臂包括臂体、连接板及安装板，所述安装板与所述臂体相互平行，所述连接板连接于所述臂体与所述安装板之间，所述连接板倾斜向上延伸，所述感应组件、预压组件及吸嘴组件均安装于所述安装板上。

8.固晶机，其特征在于：包括如权利要求1至7任一项所述的固晶摆臂系统。