[发明专利]一种曝光镜头能量标定方法及其标定装置有效
| 申请号： | 202010130243.2 | 申请日： | 2020-02-28 |
| 公开（公告）号： | CN111273519B | 公开（公告）日： | 2021-02-26 |
| 发明（设计）人： | 刘栋;张柯;张雷 | 申请（专利权）人： | 苏州源卓光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215026 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 曝光 镜头 能量 标定 方法 及其 装置 | ||
1.一种直写式光刻机曝光镜头能量标定方法，其特征在于：
预先测量曝光镜头曝光时的出光总功率LS和收光镜头接收曝光镜头曝光的光经光纤传导后的光功率LP以获得所述出光总功率和光纤传导后的光功率的倍率LR；
在对曝光镜头进行能量标定时，功率计测量收光镜头接收曝光镜头曝光的光经光纤传导后的光功率LP′，并根据光纤传导后的光功率LP′结合预先测量的出光总功率和光纤传导后的光功率的倍率LR计算曝光镜头曝光时的总功率LS′，采用以下公式计算：；
其中，所述收光镜头设置有多个并与多个曝光镜头一一对应，所述曝光镜头曝光时，所述收光镜头置于所述曝光镜头视场下，所述功率计测量所述收光镜头接收的光经光纤传导后的光功率。
2.根据权利要求1所述的曝光镜头能量标定方法，其特征在于：所述曝光镜头的出光总功率通过将所述功率计置于曝光镜头视场下测量获得。
3.一种曝光镜头能量标定装置，其特征在于：其包括固定于精密运动平台前端或者后端的收光镜头和通过光纤与所述收光镜头连接的功率计，所述收光镜头设置有多个并与多个曝光镜头一一对应，所述功率计可拆卸安装于所述精密运动平台，用于测量曝光镜头曝光时的出光总功率以及测量收光镜头接收曝光镜头曝光的光再经光纤传导后的光功率，通过采用如权利要求1或2中任一项所述的曝光镜头能量标定方法对所述曝光镜头进行能量标定。
4.根据权利要求3所述的曝光镜头能量标定装置，其特征在于：所述收光镜头尺寸小于曝光镜头尺寸。
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