[发明专利]低温等离子反应器

权利要求书

1.一种低温等离子反应器，其特征在于，包括高压极、第一介质阻挡片、第一低压极、第二介质阻挡片及第二低压极，所述高压极上设置有高压极引线，所述高压极引线用于与外部电路的输出端电性连接，所述第一介质阻挡片与所述高压极的一面烧结连接，所述第一介质阻挡片上背向所述高压极的一面与所述第一低压极烧结连接，所述第一低压极上设置有第一低压极引线，所述第一低压极引线用于与所述外部电路的输入端电性连接，所述第二介质阻挡片与所述高压极的另一面烧结连接，所述第二介质阻挡片上背向所述高压极的一面与所述第二低压极烧结连接，所述第二低压极上设置有第二低压极引线，所述第二低压极引线用于与所述外部电路的输入端电性连接。

2.根据权利要求1所述的低温等离子反应器，其特征在于，所述第一介质阻挡片与所述第二介质阻挡片分别为陶瓷片。

3.根据权利要求2所述的低温等离子反应器，其特征在于，所述第一低压极及所述高压极分别与所述第一介质阻挡片玻璃烧结连接。

4.根据权利要求2所述的低温等离子反应器，其特征在于，所述第二低压极及所述高压极分别与所述第二介质阻挡片玻璃烧结连接。

5.根据权利要求2所述的低温等离子反应器，其特征在于，所述第一低压极及所述高压极分别与所述第一介质阻挡片印刷烧结连接。

6.根据权利要求2所述的低温等离子反应器，其特征在于，所述第二低压极及所述高压极分别与所述第二介质阻挡片印刷烧结连接。

7.根据权利要求1所述的低温等离子反应器，其特征在于，所述第一介质阻挡片与所述第二介质阻挡片分别为PCB板。

8.根据权利要求1所述的低温等离子反应器，其特征在于，所述第一低压极为镍合金板。

9.根据权利要求1所述的低温等离子反应器，其特征在于，所述第二低压极为镍合金板。

10.根据权利要求1所述的低温等离子反应器，其特征在于，所述高压极为镍合金板。