[发明专利]一种激光探测器及相应的激光功率计在审
申请号: | 202010130728.1 | 申请日: | 2020-02-28 |
公开(公告)号: | CN111174908A | 公开(公告)日: | 2020-05-19 |
发明(设计)人: | 李德龙 | 申请(专利权)人: | 李德龙 |
主分类号: | G01J1/42 | 分类号: | G01J1/42;G01J1/44 |
代理公司: | 北京汲智翼成知识产权代理事务所(普通合伙) 11381 | 代理人: | 陈曦;任佳 |
地址: | 100192 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 激光 探测器 相应 功率 | ||
本发明公开了一种激光探测器及相应的激光功率计。该激光探测器包括壳体,在壳体内设置有热电堆探头、校准电路和电压放大电路,热电堆探头包括光吸收体及设置在光吸收体表面的热电堆。该激光探测器即便光吸收体表面产生破损,也不影响激光吸收比率,克服了金属基体一旦暴露给照射激光而产生强烈的光学反射的问题。并且,在光吸收体表面直接设置热电堆,接触更加可靠,导热更加迅速,反应更加灵敏。此外,该激光探测器制备工艺简单,成本低廉,性能可靠,寿命持久。
技术领域
本发明涉及一种激光探测器,同时也涉及相应的激光功率计,属于激光计量技术领域。
背景技术
目前,激光器在通信、医疗、工业制造等领域的应用越来越广泛。在激光器的研制、生产及应用过程中,对激光器的功率进行测量和标定是必不可少的步骤。
现有技术中,通常采用激光功率计测试连续激光的功率或者脉冲激光在某一段时间的平均功率。激光功率计一般由激光探测器和显示设备组成。按照测量原理不同,激光探测器主要包括两类:光电型激光探测器和热电型激光探测器。其中,光电型激光探测器是利用半导体的光电效应实现功率测量,当激光照射在光电型激光探测器的光敏面上时,其中的PN结所在回路内会形成光电流,入射激光的功率越大,光电流越大,通过对光电流进行测量就能得知入射激光的功率。
如图1所示,现有的热电型激光探测器一般采用铝合金基板作为导热板100,在该导热板100的一面设置深色光学吸收涂层101,以实现对激光的高比率吸收;导热板100的另外一面先设置一层绝缘层102,然后再在绝缘层102表面制备热电堆103(即多个热电偶串联并贴附于绝缘层102表面),以探测热量传导时产生的温度差,进而实现对入射激光功率或者光脉冲能量的测量。热电型激光探测器的激光吸收面在高平均功率、高峰值功率或高能量光脉冲的冲击下,光学吸收涂层101会经常灼伤、挥发、脱落、破损,进而导致激光吸收率下降,引起测量失准。另一方面,热电型激光探测器的绝缘层102和热电堆103之间也存在热胀冷缩和接触不良的问题,造成容易出现故障。因此,这种现有的热电型激光探测器寿命短、故障率高,需要频繁更换和校准。
发明内容
本发明所要解决的首要技术问题在于提供一种激光探测器。
本发明所要解决的另一技术问题在于提供一种包括上述激光探测器的激光功率计。
为了实现上述目的,本发明采用下述的技术方案:
根据本发明实施例的第一方面,提供一种激光探测器,包括壳体,所述壳体内设置有热电堆探头、校准电路和电压放大电路,所述热电堆探头包括光吸收体及设置在所述光吸收体表面的热电堆;
所述热电堆与所述校准电路的输入端连接时,所述校准电路的输出端与所述电压放大电路的输入端连接,所述电压放大电路的输出端通过输出接口向外输出与待测激光实际功率呈预定比例的电压。
根据本发明实施例的第二方面,提供一种激光探测器,包括壳体,所述壳体内设置有热电堆探头、校准电路和电压放大电路,所述热电堆探头包括光吸收体及设置在所述光吸收体表面的热电堆;
所述热电堆与所述电压放大电路的输入端连接时,所述电压放大电路的输出端与所述校准电路的输入端连接,所述校准电路的输出端通过所述输出接口向外输出与所述待测激光实际功率呈预定比例的电压。
其中较优地,采用由深色导热陶瓷制成的导热基板作为所述光吸收体,所述热电堆设置在所述光吸收体上背对吸收激光的一面。
其中较优地,采用由黑色或深色碳化硅陶瓷制成的导热基板作为光吸收体。
其中较优地,所述热电堆为采用多个热电偶串联而成的环状热电堆;
所述热电堆通过电极与所述校准电路或所述电压放大电路的输入端连接。
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