[发明专利]具有在线监测功能的晶体生长装置在审
| 申请号： | 202010132322.7 | 申请日： | 2020-02-29 |
| 公开（公告）号： | CN111455455A | 公开（公告）日： | 2020-07-28 |
| 发明（设计）人： | 刘胜;东芳;高冰;周振;甘志银;王诗兆 | 申请（专利权）人： | 武汉大学 |
| 主分类号： | C30B23/00 | 分类号： | C30B23/00;C30B29/04;C30B29/06;C30B29/16;C30B29/20;C30B29/36;C30B29/38;C30B29/40;G01K1/14;G01N21/25;G01N23/20;G01N27/62 |
| 代理公司： | 武汉科皓知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 42222 | 代理人： | 郑勤振 |
| 地址： | 430072 湖*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 具有 在线 监测 功能 晶体生长 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种晶体生长装置，其特征在于，包括：
生长坩埚，其上具有至少两个检测窗口，所述检测窗口通过阀门密封；
透明密封腔，罩在所述检测窗口上在所述阀门打开时使所述生长坩埚处于密闭状态；
光谱仪，位于所述生长坩埚外，其中光谱仪发射器对准所述至少两个检测口中的一个，光谱仪接收器对准所述至少两个检测口中的另一个；和/或
XRD衍射仪，位于所述生长坩埚外，其中XRD发射器对准所述至少两个检测口中的一个，XRD接收器对准所述至少两个检测口中的另一个；和/或
质谱仪，其探头位于所述生长坩埚内。
2.根据权利要求1所述的晶体生长装置，其特征在于，还包括检测所述生长坩埚侧壁温度的测温仪。
3.根据权利要求2所述的晶体生长装置，其特征在于，所述测温仪位于垂直升降装置上。
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