[发明专利]一种应用于空气中重金属颗粒检测的传感器

权利要求书

1.一种应用于空气中重金属颗粒检测的传感器，该传感器包括：半导体基板、线圈、霍尔阵列，所述霍尔阵列为多个微米级的霍尔传感器组成的阵列，线圈和霍尔阵列都位于半导体基板上表面，且线圈绕制与霍尔阵列的外围，用于产生垂直于霍尔阵列的磁场。

2.如权利要求1所述的一种应用于空气中重金属颗粒检测的传感器，其特征在于在传感器的上表面沉积一层Si₃N₄或者SiO₂。

3.如权利要求1所述的一种应用于空气中重金属颗粒检测的传感器，其特征在于所述霍尔阵列为多个微米级的霍尔传感器组成的圆形阵列、方形阵列或十字形阵列。

4.如权利要求1或2所述的一种应用于空气中重金属颗粒检测的传感器，其特征在于本发明传感器应用于向异性磁阻传感器，巨磁阻传感器，隧穿磁阻传感器。

5.如权利要求1所述的一种应用于空气中重金属颗粒检测的传感器，其特征在于该传感器工作时通过给线圈通电，磁化位于霍尔阵列周围的重金属颗粒，然后使金属可以沉积到霍尔阵列表面，通过霍尔阵列检测被磁化的重金属颗粒的磁场，从而判断出重金属颗粒的浓度。

6.如权利要求2所述的一种应用于空气中重金属颗粒检测的传感器，其特征在于所述线圈导线横截面长宽分别为9μm和4.5μm，传感器工作时通以30mA的电流；传感器的上表面沉积的Si₃N₄或者SiO₂厚度为3微米；霍尔阵列中的霍尔传感器为2×2微米的正方形霍尔传感器，各霍尔传感器厚度为0.5微米，掺杂为N型10¹⁷原子/cm³，正方形四个角的三角形区域为金属，用以与半导体形成欧姆接触，工作时单个霍尔器件的供电电压为5V；相邻霍尔传感器的距离为2微米。