[发明专利]模具表面处理方法及微针制作方法在审
| 申请号： | 202010133816.7 | 申请日： | 2020-02-28 |
| 公开（公告）号： | CN111331871A | 公开（公告）日： | 2020-06-26 |
| 发明（设计）人： | 温晓镭;孙剑 | 申请（专利权）人： | 中国科学技术大学 |
| 主分类号： | B29C69/02 | 分类号： | B29C69/02;B29C33/42;B29C33/72;C23C14/02;C23C14/16;C23C14/20;C23C14/24;C23C14/30;C23C14/35 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 方丁一 |
| 地址： | 230026 安*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 模具 表面 处理 方法 制作方法 | ||
1.一种模具表面处理方法，用于改善微针的脱模效果，其特征在于，包括：
对带有微孔结构的母版模具进行清洗；
采用氧等离子体对清洗后的母版模具进行活化处理；
在活化处理后的母版模具表面依次沉积种子层及薄膜层，其中，所述薄膜层用于降低所述母版模具表面的自由能。
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述进行活化处理的时间范围为1-10分钟。
3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在活化处理后的母版模具表面沉积Ti种子层或Cr种子层。
4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述薄膜层为Au薄膜层，所述Au薄膜层的厚度范围为5-200纳米。
5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述种子层的厚度范围为1-20纳米。
6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述对带有微孔结构的母版模具进行清洗，包括：
将所述带有微孔结构的母版模具依次浸入丙酮、异丙醇溶液中超声清洗；
采用氮气对超声清洗后的母版模具进行干燥。
7.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，所述超声清洗的时间范围为5-10分钟。
8.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述Ti种子层或Cr种子层的厚度为3-5纳米。
9.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，采用磁控溅射镀膜机或电子束蒸发镀膜机或热蒸发镀膜机在活化处理后的母版模具表面依次沉积种子层及薄膜层。
10.一种基于权利要求1-9任一项所述方法的微针制作方法，其特征在于，包括：
对带有微孔结构的母版模具进行清洗；
采用氧等离子体对清洗后的母版模具进行活化处理；
在活化处理后的母版模具表面依次沉积种子层及Au薄膜层；
在所述Au薄膜层上浇铸高分子聚合物材料，待所述聚合物材料固化成型后进行脱模分离，得到聚合物微针。
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