[发明专利]基于一体式二次分光组件的外差激光干涉仪有效
| 申请号： | 202010134345.1 | 申请日： | 2020-03-02 |
| 公开（公告）号： | CN111442715B | 公开（公告）日： | 2021-09-07 |
| 发明（设计）人： | 胡鹏程;苏晓博;付海金 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | G01B9/02 | 分类号： | G01B9/02 |
| 代理公司： | 哈尔滨市阳光惠远知识产权代理有限公司 23211 | 代理人： | 邓宇 |
| 地址： | 150001 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 基于 体式 二次 分光 组件 外差 激光 干涉仪 | ||
1.一种基于一体式二次分光组件的外差激光干涉仪，包括：两个空间不重合且频率不同的第一输入光束和第二输入光束、一体式二次分光组件、固定反射镜以及可移动的目标平面反射镜；
其特征在于：所述第一输入光束入射至一体式二次分光组件后被分成第一测量光束和第一参考光束；第二输入光束入射至一体式二次分光组件后被分成第二测量光束和第二参考光束；第一测量光束和第二测量光束中至少有一束光束被目标平面反射镜至少反射一次；第一和第二测量光束以及第一和第二参考光束均被一体式二次分光组件的第一分光面和第二分光面多次透射或反射；并且第一测量光束和第二参考光束在输出行进路径中至少有一部分重合并形成第一干涉信号，第一参考光束和第二测量光束在输出行进路径中至少有一部分重合并形成第二干涉信号；
所述的一体式二次分光组件包括：第一等腰直角棱镜、第二等腰直角棱镜以及第三等腰直角棱镜；
第一等腰直角棱镜和第二等腰直角棱镜尺寸相同且通过彼此直角边面的粘接形成一个与第三等腰直角棱镜尺寸相同的组合式等腰直角棱镜；第三等腰直角棱镜通过其斜边面与组合式等腰直角棱镜的斜边面粘接形成长方体状的一体式二次分光组件；并且第一等腰直角棱镜和第二等腰直角棱镜的粘接面作为第一分光面，第一和第二等腰直角棱镜形成的组合式等腰直角棱镜与第三等腰直角棱镜的粘接面作为第二分光面。
2.根据权利要求1所述的基于一体式二次分光组件的外差激光干涉仪，其特征在于，所述第一分光面和第二分光面镀有偏振分光膜或非偏振分光膜，且在空间上彼此垂直。
3.根据权利要求1所述的基于一体式二次分光组件的外差激光干涉仪，其特征在于，第一测量光束和第二参考光束以及第二测量光束和第一参考光束均在一体式二次分光组件中的行进路径长度相等。
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