[发明专利]自动更换吸嘴式固晶装置有效
| 申请号： | 202010136225.5 | 申请日： | 2020-03-02 |
| 公开（公告）号： | CN111326472B | 公开（公告）日： | 2020-10-13 |
| 发明（设计）人： | 胡新荣 | 申请（专利权）人： | 深圳新益昌科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/683 | 分类号： | H01L21/683;H01L21/67 |
| 代理公司： | 深圳中一联合知识产权代理有限公司 44414 | 代理人： | 徐汉华 |
| 地址： | 518000 广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 自动 更换 吸嘴式固晶 装置 | ||
1.自动更换吸嘴式固晶装置，其特征在于，包括用于固晶的旋转摆臂装置和用于收取所述旋转摆臂装置上的吸嘴并向该旋转摆臂装置供收吸嘴的收供吸嘴装置；所述旋转摆臂装置包括旋转座、驱动所述旋转座水平旋转的旋转驱动器和安装于所述旋转座上的摆臂机构；所述摆臂机构包括气动拆装吸嘴的气动夹和支撑所述气动夹的支撑臂，所述支撑臂安装于所述旋转座上；所述气动夹包括安装于所述支撑臂上的夹头，所述夹头的一端设有用于配合容置所述吸嘴一端的容置孔，所述夹头的另一端设有用于连接气路以供气体进出所述容置孔的通气孔。
2.如权利要求1所述的自动更换吸嘴式固晶装置，其特征在于：所述气动夹还包括用于连接气管的接头，所述接头与所述夹头相连。
3.如权利要求2所述的自动更换吸嘴式固晶装置，其特征在于：所述气动夹还包括支撑套，所述夹头安装于所述支撑套的一端，所述接头安装于所述支撑套的另一端，所述支撑套安装于所述支撑臂上。
4.如权利要求1-3任一项所述的自动更换吸嘴式固晶装置，其特征在于：所述摆臂机构还包括驱动所述气动夹转动的校正调节机构，所述校正调节机构与所述支撑臂相连。
5.如权利要求4所述的自动更换吸嘴式固晶装置，其特征在于：所述校正调节机构包括主动轮、从动轮、连接所述主动轮与所述从动轮的同步带和驱动所述主动轮转动的调节电机，所述从动轮套于所述气动夹上，所述调节电机安装于所述旋转座上，所述主动轮安装于所述调节电机的主轴上。
6.如权利要求1-3任一项所述的自动更换吸嘴式固晶装置，其特征在于：所述摆臂机构还包括驱动所述支撑臂升降的升降机构，所述升降机构安装于所述旋转座上，所述支撑臂安装于所述升降机构上。
7.如权利要求6所述的自动更换吸嘴式固晶装置，其特征在于：所述升降机构包括导轨、滑动安装于所述导轨上的滑座、驱动所述滑座升降的音圈电机，所述音圈电机和所述导轨安装于所述旋转座上，所述支撑臂安装于所述滑座上。
8.如权利要求1-3任一项所述的自动更换吸嘴式固晶装置，其特征在于：所述旋转摆臂装置包括多个所述摆臂机构，多个所述摆臂机构均匀分布于所述旋转座的周侧。
9.如权利要求1-3任一项所述的自动更换吸嘴式固晶装置，其特征在于：所述收供吸嘴装置包括用于存放吸嘴的多个存放座、支撑多个所述存放座的分度转盘、驱动所述分度转盘转动的旋转电机和支撑所述旋转电机的机座，所述分度转盘与所述旋转电机相连，多个所述存放座均匀分布于所述分度转盘上，各所述存放座上设有供所述吸嘴插入的容置腔。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于深圳新益昌科技股份有限公司，未经深圳新益昌科技股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202010136225.5/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
