[发明专利]一种具有检测功能的衍射光学镜片及其制作方法有效

专利信息
申请号: 202010137061.8 申请日: 2020-03-02
公开(公告)号: CN111208649B 公开(公告)日: 2023-09-29
发明(设计)人: 王敏锐;孙旭 申请(专利权)人: 苏州中为联创微纳制造创新中心有限公司
主分类号: G02B27/42 分类号: G02B27/42;G06V40/16
代理公司: 苏州简理知识产权代理有限公司 32371 代理人: 杨瑞玲;杨晓东
地址: 215123 江苏省苏州市工业*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 具有 检测 功能 衍射 光学镜片 及其 制作方法
【权利要求书】:

1.一种具有检测功能的衍射光学镜片,其特征在于,包括:

石英薄片(7),其被设置为接收来自外部设备的光束,所述石英薄片(7)具有上表面(71)以及与所述上表面(71)相对设置的下表面(72),所述上表面(71)具有衍射光栅(711),所述下表面(72)具有若干凹槽;

金属电阻(8),其被设置的检测所述石英薄片(7)的电导率,所述金属电阻(8)嵌入所述凹槽内,所述金属电阻(8)在所述石英薄片(7)的下表面(72)形成连续的金属电阻网络回路;

所述外部光束自所述衍射光栅(711)的一侧穿透所述石英薄片(7)照射在被识别物体(1)上,当所述石英薄片(7)破损时,石英薄片(7)的电导率发生变化,所述金属电阻(8)根据检测到的电导率变化控制外部设备停止发射光束。

2.根据权利要求1所述的衍射光学镜片,其特征在于,所述若干凹槽在所述石英薄片(7)的下表面(72)呈点状分布,

所述下表面(72)上与所述衍射光栅(711)相对应的位置为透光区域(721),所述透光区域(721)无所述凹槽;

所述凹槽远离所述透光区域(721),且所述凹槽靠近所述石英薄片(7)的边缘。

3.根据权利要求2所述的衍射光学镜片,其特征在于,所述凹槽集中分布在所述石英薄片(7)的四周。

4.根据权利要求1所述的衍射光学镜片,其特征在于,所述若干凹槽在所述石英薄片(7)的下表面呈阵列分布,所述阵列分布包括网格分布,所述网格包括多边形网格,所述凹槽与所述多边形网格的边一一对应设置。

5.根据权利要求1所述的衍射光学镜片,其特征在于,所述金属电阻(8)与所述凹槽一一对应,所述金属电阻(8)的形状与所述凹槽的形状一致。

6.根据权利要求1所述的衍射光学镜片,其特征在于,所述金属电阻(8)包括纳米银和石墨烯;

所述纳米银和石墨烯通过印旋涂和/或喷涂的方式填充在所述凹槽内形成所述金属电阻(8)。

7.根据权利要求1所述的衍射光学镜片,其特征在于,所述凹槽的形状包括圆形、椭圆形、矩形、三角形和贝壳形。

8.一种具有检测功能的衍射光学镜片的制作方法,其特征在于,包括如下步骤:

S1:清洗带有完整衍射光栅(711)的石英薄片(7),在所述石英薄片(7)刻有衍射光栅(711)的一面的相对面进行光刻显影处理,在所述石英薄片(7)上对若干凹槽进行预定位;

S2:按照步骤S1在所述石英薄片(7)上获得的预定位,对石英薄片(7)进行刻蚀,在所述石英薄片(7)上表面制得若干凹槽;

S3:在步骤S2制得的若干凹槽内涂覆银浆,对所述银浆进行预固化,获得初步成型的金属电阻(8);

S4:对步骤S3获得的初步成型的金属电阻(8)进行去胶处理,形成初步成型的金属电阻网络回路,对所述金属电阻网络回路进行固化处理,获得成型金属电阻网络回路。

9.根据权利要求8所述的制作方法,其特征在于,对于步骤S3,所述涂覆银浆包括喷涂和旋涂。

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