[发明专利]一种制备大尺寸高致密度含稀土ITO铝靶材的方法

权利要求书

1.一种制备大尺寸高致密度含稀土ITO铝靶材的方法，其特征在于，该方法包括如下步骤：

(1)熔炼：熔炼时先熔化纯铝，之后加入纯稀土金属或中间合金，待稀土金属或合金熔化后，将其浇铸为初锭；

(2)等离子雾化沉积：将上述熔铸得到的初锭做阳极，以惰性气体等离子体做熔化和雾化介质，进行铝靶材的雾化沉积制备，得到雾化沉积锭；

(3)超塑性成形：采用在合金的半固态温度区间对雾化沉积锭进行超塑性成形；

(4)热处理：依次采用均匀化、固溶、时效的热处理工艺，对靶材进行热处理，制得所述铝靶材。

2.根据权利要求1所述的一种制备大尺寸高致密度含稀土ITO铝靶材的方法，其特征在于，步骤(1)中熔炼在真空炉中进行，熔炼采用不易与稀土元素发生反应的陶瓷坩埚。

3.根据权利要求1所述的一种制备大尺寸高致密度含稀土ITO铝靶材的方法，其特征在于，步骤(1)中浇铸的初锭直径为19-21mm。

4.根据权利要求1所述的一种制备大尺寸高致密度含稀土ITO铝靶材的方法，其特征在于，步骤(2)中等离子雾化沉积的具体工艺参数为：雾化沉积气压0.5-1MPa，气液质量比1.5-2，采用氮气或氩气进行雾化。

5.根据权利要求1所述的一种制备大尺寸高致密度含稀土ITO铝靶材的方法，其特征在于，步骤(2)制得的雾化沉积锭为圆柱状，直径80-800mm。

6.根据权利要求1所述的一种制备大尺寸高致密度含稀土ITO铝靶材的方法，其特征在于，步骤(3)在超塑性成形的具体步骤如下：先将雾化沉积锭切割成厚度为20-50mm的圆片，然后将圆片铸锭在高于其固相线温度20-50℃预热0.5小时，之后放入等直径的相同温度预热过的模具中进行超塑性热压，热压压力5-10MPa，时间30秒。

7.根据权利要求1所述的一种制备大尺寸高致密度含稀土ITO铝靶材的方法，其特征在于，步骤(4)中各热处理工艺参数为：均匀化温度为低于合金固相线10-15℃，时间10-24h，固溶温度为低于合金固相线5-10℃，时间2-5h，时效温度200-300℃，时间5-24h。