[发明专利]一种蘑菇状端头的仿生粘附材料及其制备方法

权利要求书

1.一种蘑菇状端头的仿生粘附材料的制备方法，其特征在于，包括：

步骤一：制备硅-玻璃模具，包括：

对硅片从上表面进行深硅刻蚀形成凹坑，凹坑的深度大于柱体的高度；

对硅片从下表面进行剪薄、研磨和抛光处理，使得凹坑成为通孔；

将硅片与第一玻璃基底进行阳极键合，得到硅-玻璃模具；

对硅-玻璃模具表面进行疏水化处理；

步骤二：制备蘑菇状端头的仿生粘附材料，包括：

将硅胶预制液倒至硅-玻璃模具进行旋涂、抽真空和固化；

从硅-玻璃模具剥离固化后的硅胶薄膜，所述硅胶薄膜包括薄膜层和一端连接到薄膜层的柱体；

将硅胶薄膜的薄膜层粘附到上表面旋涂有光刻胶的第二玻璃基底；

围绕柱体激光切割硅胶薄膜的薄膜层，切割深度大于薄膜层厚度；

将柱体的另一端浸入到旋涂在第三玻璃基底上的硅胶预制液里；

硅胶预制液固化后，溶解光刻胶，去除第二玻璃基底和薄膜层未连接柱体部分，得到蘑菇状端头的仿生粘附材料。

2.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述硅胶预制液为道康宁184，按照10：1体积比配制原液和固化液，配制后抽真空。

3.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述光刻胶为AZ5214。