[发明专利]可感测低频力与高频力的力感测装置

权利要求书

1.一种力感测装置，其特征在于，包括：

中央部，可承受第一力量及第二力量，其中该第一力量的第一频率低于该第二力量的第二频率；

至少一固定部；

至少一第一感测部，具有第一自然频率，其中该至少一第一感测部连接该中央部；

第二感测部，具有第二自然频率，其中该第二感测部连接该至少一第一感测部且连接该至少一固定部；

至少一第一机电元件，设置于该至少一第一感测部且用以感测该至少一第一感测部的第一振幅；以及

至少一第二机电元件，设置于该第二感测部且用以感测该第二感测部的第二振幅；

其中当该中央部承受该第一力量时，该第一振幅大于该第二振幅，当该中央部承受该第二力量时，该第一振幅小于该第二振幅。

2.如权利要求1所述的力感测装置，其中当该中央部承受该第一力量时，该至少一第一感测部所产生的振动频率实质上等于该第一自然频率。

3.如权利要求1所述的力感测装置，其中当该中央部承受该第二力量时，该第二感测部所产生的振动频率实质上等于该第二自然频率。

4.如权利要求1所述的力感测装置，其中当该中央部承受该第一力量及该第二力量时，该至少一第一感测部所产生的振动频率实质上等于该第一自然频率，且该第二感测部所产生的振动频率实质上等于该第二自然频率。

5.如权利要求1所述的力感测装置，其中该至少一第一感测部的刚性小于该第二感测部的刚性。

6.如权利要求1所述的力感测装置，其中该至少一第一机电元件为压阻元件。

7.如权利要求1所述的力感测装置，其中该至少一第二机电元件为压电元件。

8.如权利要求1所述的力感测装置，其中该中央部具有法向量，该至少一第一感测部包括扭转部、弹性部及两个支撑部，该扭转部连接该中央部，该弹性部位于该两个支撑部之间，该弹性部的内端点沿第一轴向连接该扭转部且该弹性部的外端点沿该第一轴向连接该第二感测部，该第一轴向与该中央部的该法向量垂直，该两个支撑部的两个内端点连接该扭转部且该两个支撑部的两个外端点连接该第二感测部，当该中央部承受与该第一轴向平行的轴向力时，该扭转部沿该第一轴向的应变小于该弹性部沿该第一轴向的应变。

9.如权利要求8所述的力感测装置，其中该弹性部的厚度小于该两个支撑部的厚度且小于该扭转部的厚度。

10.如权利要求8所述的力感测装置，其中该至少一第一机电元件设置于该中央部与该扭转部的交接处。

11.如权利要求10所述的力感测装置，其中该至少一第一机电元件用以测量该中央部承受与该中央部的该法向量平行的力矩。

12.如权利要求8所述的力感测装置，其中该至少一第一机电元件设置于该扭转部且邻近该中央部。

13.如权利要求12所述的力感测装置，其中该至少一第一机电元件的数量为多个，该些第一机电元件用以测量该中央部承受与第二轴向平行的力矩，其中该第二轴向与该第一轴向及该中央部的该法向量相互垂直。

14.如权利要求8所述的力感测装置，其中该至少一第一机电元件设置于该弹性部且邻近该扭转部。

15.如权利要求14所述的力感测装置，其中该至少一第一机电元件用以测量该中央部承受与该第一轴向平行的该轴向力。

16.如权利要求8所述的力感测装置，其中该至少一第一机电元件置于该弹性部且邻近该第二感测部。