[发明专利]一种被动调平结构的检平装置与方法

权利要求书

1.一种被动调平结构的检平装置，其特征在于：包括用于产生相对位移的驱动模块(1)、用于实现被动调平的调平模块(2)、用作检测光源的光源模块(3)、用于调平状态检测的检平模块(4)以及用于信号采集与反馈控制的控制系统(5)；其中：

所述的驱动模块(1)包含位移台(6)、安装板(7)和基准板(8)，其中位移台(6)安装在整机基板上，安装板(7)安装在位移台(6)上，基准板(8)安装在安装板(7)上；

所述的调平模块(2)包含调平结构(9)和反射板(10)，其中调平结构(9)安装在整机基板上，反射板(10)安装在调平结构(9)上，所述的调平结构(9)俯仰方向都应具有弹性变形能力，所述的反射板(10)必须有一个面能反射准直激光，如果反射板(10)不能透准直激光，则靠近光源模块(3)一面作为反射面；如果反射板(10)能透射准直激光，则两个面选择一个面作为反射面即可；

所述的光源模块(3)包含光源调节架(11)和准直激光头(12)，其中光源调节架(11)安装在整机基板上，准直激光头(12)安装在光源调节架(11)上，光源调节架(11)可以调节准直激光头(12)的俯仰角度，进而调节准直激光光束的出射角度；

所述的检平模块(4)包括准直透镜(13)、位置敏感探测器(14)和探测器调节架(15)，其中准直透镜(13)和探测器调节架(15)安装在整机基板上，位置敏感探测器(14)安装在探测器调节架(15)上，探测器调节架(15)可以调节位置敏感探测器(14)的俯仰角度，进而匹配准直激光光束的入射角度。

2.根据权利要求1所述的一种被动调平结构的检平装置，其特征在于：所述的位移台(6)也可以设计安装在调平模块(2)上，只需让基准板(8)和反射板(10)产生相对位移即可，同时整个装置也可以上下倒置安装、左右安装或任意状态安装使用。

3.根据权利要求1所述的一种被动调平结构的检平装置，其特征在于：所述的检平模块(4)，可以通过调节检平模块(4)与反射板(10)之间的距离、调节光源模块(3)和检平模块(4)之间的角度、提高位置敏感探测器(14)的探测精度以及更换准直透镜(13)方式，来调整检平模块(4)的检平精度。

4.一种被动调平结构的检平方法，利用权利要求1所述的装置，其特征在于：包括：

第一步，开启各模块电源，打开控制软件；

第二步，移动位移台，此时激光光束已经入射到反射板上，位置敏感探测器也已经接收到信号，随着位移台的移动，反射板与基准板开始接触，反射板将自适应的贴平基准板；

第三步，反射板与基准板贴平过程中，位置敏感探测器实时检测位置偏移数据，控制系统采集数据并处理出调平状态信息；

第四步，当位移台继续小步进量步进，而位置敏感探测器数据不变时，说明调平已经完成，位移台不再移动。