[发明专利]一种四象限探测器的标定方法在审
申请号: | 202010138115.2 | 申请日: | 2020-03-03 |
公开(公告)号: | CN111272084A | 公开(公告)日: | 2020-06-12 |
发明(设计)人: | 郭海峰;钱惟贤 | 申请(专利权)人: | 丹阳钒曦光电科技有限公司 |
主分类号: | G01B11/03 | 分类号: | G01B11/03 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 212300 江苏省镇江市丹*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 象限 探测器 标定 方法 | ||
1.一种四象限探测器的标定方法,其特征在于,具体步骤为:
步骤1、根据入射光的能量分布确定模型,然后根据能量分布模型确定背景光噪声;
步骤2、根据四象限探测器的象限尺寸、盲区宽度、光敏响应度以及背景光噪声,确定各象限的响应值;
步骤3、利用定位算法计算各象限的输出电压值;
步骤4、根据由高斯光斑引起的各象限的输出电压值,计算光斑质心的实际偏移量,根据光斑质心的实际偏移量确定探测器的测量误差。
2.根据权利要求1所述的四象限探测器标定方法,其特征在于,步骤1确定的能量分布模型能够表示各个象限受到的光照强度、背景光造成的白噪声光强、光敏面各象限的边长、象限间盲区的半宽度。
3.根据权利要求1所述的可适应多种光束的四象限探测器标定方法,其特征在于,步骤4中光斑质心的实际偏移量中,包涵了光响应度、电流-电压转换系数的比例系数。
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