[发明专利]搬送装置

权利要求书

1.一种搬送装置，其以非接触状态吸引并搬送板状被加工物，其中，

该搬送装置具有：

伯努利搬送垫，其向该被加工物喷射流体而产生负压；

基台，其供该伯努利搬送垫固定；以及

移动单元，其使该基台移动，

该伯努利搬送垫包含垫主体，该垫主体具有：

第1保持面，其形成有流体喷出部；以及

环状垫安装部，其供将该第1保持面沿径向扩展而增强吸引力的环状垫安装。

2.根据权利要求1所述的搬送装置，其中，

该环状垫安装部由该垫主体的圆筒状侧面构成，

该伯努利搬送垫还包含安装于该垫主体的环状垫，该环状垫具有内径与该垫主体的该圆筒状侧面的直径相等的第2保持面。

3.根据权利要求2所述的搬送装置，其中，

该环状垫包含外径分别不同的多个环状垫，将从该多个环状垫中选择的一个环状垫安装于该垫主体的该圆筒状侧面上。