[发明专利]热处理装置

说明书

提供热处理装置，进一步降低在热处理装置中对收纳被处理物的管施加的负荷。热处理装置(1)具有：卧式的管(4)，其包含用于取出放入被处理物(100)的开口部(4a)；门(8)，其对开口部(4a)进行开闭；以及门支承机构(9)，其与管(4)的开口部(4a)沿上下方向(Z)移位的动作联动而将门(8)支承为能够沿上下方向(Z)移位。

技术领域

本发明涉及用于在加热的气氛下对被处理物进行处理的热处理装置。

背景技术

公知有用于对基板等材料进行热处理的热处理装置(例如，参照专利文献1)。专利文献1所记载的热处理装置具有石英制的管。该管形成为筒状，以该管的中心轴线为水平方向的方式横向配置。该管收纳基板等被处理物。在管内，通过热反应对被处理物实施期望的热处理。在对被处理物进行热处理时，管的开口部被门关闭。

专利文献1：日本特开2014-53550号公报

管例如被支承部件支承。另外，门被门开闭装置支承为能够开闭。

热处理装置为了将被处理物加热至几百度以上而处于高温。因此，管也处于高温。如果管处于高温，则管用的支承部件也处于高温，因此支承部件和管等热膨胀，其结果为，管的开口部中的各部分的上下位置发生变化。另外，由于被处理物被搬入到管内，所以管有时受到来自该被处理物的载荷而相对于水平方向倾斜，开口部的上下位置发生变化。这样，管的上下位置发生变化，另一方面，将开口部关闭的状态的门被门开闭装置固定为不会发生移位，因此上下位置不发生变化。其结果为，管的开口部必须承受沿上下方向移动的力并且与被固定的门发生相对移动。由此，对管的开口部施加较大的负荷，成为管的开口部容易产生破损的一个原因。

发明内容

鉴于上述情况，本发明的目的在于，在热处理装置中进一步降低对收纳被处理物的管施加的负荷。

(1)为了解决上述课题，本发明的一个方面的热处理装置具有：卧式的管，其包含用于取出放入被处理物的开口部；门，其对所述开口部进行开闭；以及门支承机构，其与所述管的所述开口部沿上下方向移位的动作联动而将所述门支承为能够沿所述上下方向移位。

根据该结构，在由于处于高温的管支承部件热膨胀而使管的开口部的上下位置发生变化的情况下，或者在由于处于高温的管热膨胀而使该管的开口部的上下位置发生变化的情况下，或者在由于管内的被处理物的载荷平衡而导致该管的开口部的上下位置发生变化的情况下，门能够与管的开口部的上下位置的变化一致地沿上下方向移位。其结果为，管的开口部不会从门受到较大的力。因此，能够进一步降低施加于管的开口部的负荷。

(2)有时所述门支承机构具有：第1支承部件，其为了对所述门进行支承而与所述门连结；第2支承部件，其对所述第1支承部件进行支承；以及第1弹性部件，其以所述第1支承部件能够相对于所述第2支承部件沿所述上下方向移动的方式将来自所述第1支承部件的载荷传递给所述第2支承部件。

根据该结构，门支承机构能够通过第1弹性部件的弹性变形而使门沿上下方向顺畅地移动。

(3)有时所述门以能够绕轴线移位的方式与所述第1支承部件连结，其中，该轴线沿与所述上下方向垂直的左右方向延伸。

根据该结构，在管的开口部以相对于上下方向倾斜的方式移位的情况下(例如在由于管内的被处理物的载荷平衡而导致该管的开口部相对于上下方向倾斜的情况下)，门支承机构能够以与该倾斜一致的方式使门倾斜。由此，能够抑制在管的开口部与门之间产生间隙，并且能够抑制较大的负荷作用于管的开口部。

(4)有时所述门和所述第1支承部件是使用球面接头连结的。

根据该结构，能够进一步提高门以与管的开口部的移位一致的方式移位的自由度，并且接头以较少的部件数量即可完成。

(5)有时所述第1支承部件包含沿所述上下方向延伸的轴状部，并且所述第1支承部件穿过形成于所述第2支承部件的贯通孔。