[发明专利]一种光学谐振腔原理的金属氧化物气体传感器

权利要求书

1.一种光学谐振腔原理的金属氧化物气体传感器，其特征在于：包括绝缘基底层(1)，所述绝缘基底层(1)的上方设置有带有孔洞(5)的第一贵金属薄膜层(2)，所述第一贵金属薄膜层(2)的上方设置有金属氧化物层(3),所述金属氧化物层(3)的上设置有第二贵金属薄膜层(4)。

2.如权利要求1所述的一种光学谐振腔原理的金属氧化物气体传感器，其特征在于：所述多个孔洞(5)为周期排列。

3.如权利要求1所述的一种光学谐振腔原理的金属氧化物气体传感器，其特征在于：所述孔洞(5)底部设置有贵金属颗粒层(6)。

4.如权利要求1所述的一种光学谐振腔原理的金属氧化物气体传感器，其特征在于：所述贵金属颗粒层(6)的高度高于第一贵金属薄膜层(2)的厚度。

5.如权利要求4所述的一种光学谐振腔原理的金属氧化物气体传感器，其特征在于：所述孔洞(5)的半径为100nm～1000nm。

6.如权利要求1所述的一种光学谐振腔原理的金属氧化物气体传感器，其特征在于：所述贵金属颗粒层(6)为圆柱形。

7.如权利要求1所述的一种光学谐振腔原理的金属氧化物气体传感器，其特征在于：所述贵金属颗粒层(6)为圆锥形。

8.如权利要求1所述的一种光学谐振腔原理的金属氧化物气体传感器，其特征在于：所述第一贵金属薄膜层(2)、第二贵金属薄膜层(4)均是由金或银制成。

9.如权利要求1所述的一种光学谐振腔原理的金属氧化物气体传感器，其特征在于：所述金属氧化物层(3)是氧化铁(Fe₂O₃)、氧化铜(CuO)、氧化锌(ZnO)、四氧化三钴(Co₃O₄)、氧化镍(NiO)、氧化钛(TiO₂)、氧化钼(MoO₃)、氧化锡(SnO₂)中的一种或多种组成。