[发明专利]太阳能集热管的选择性吸收涂层镀膜方法

权利要求书

1.一种太阳能集热管的选择性吸收涂层镀膜方法，所述太阳能集热管具有密闭连接的内管与罩玻璃管，其特征在于：

在内管的吸热段的外壁依次溅射靶材而形成红外反射层、低电阻层、过渡层、高电阻层和减反层；在低电阻层、过渡层、高电阻层和减反层的靶材中分别掺杂了一定比例的金属钒；

对所述低电阻层、过渡层、高电阻层和减反层进行高温氧化热处理，使金属钒完全氧化为二氧化钒；

其中，所述低电阻层是以金属铝、钛、不锈钢、镍及其氧化物中的任意一种或任意数种的混合物为基质，再掺杂二氧化钒，其中二氧化钒占总量的摩尔比为5%-20%，涂层厚度为50-150nm，方块电阻为90~500欧姆；

其中，所述过渡层是以金属铝、钛、不锈钢、镍、硅及其氧化物中的任意一种或任意数种的混合物为基质，再掺杂二氧化钒，其中二氧化钒占总量的摩尔比为10%~25%，涂层厚度为50-150nm，方块电阻为500~2000欧姆；

其中，所述高电阻层是以金属铝、钛、不锈钢、镍、硅及其氧化物中的任意一种或任意数种的混合物为基质，再掺杂二氧化钒，其中二氧化钒占总量的摩尔比为15%~30%，涂层厚度为50-150nm，方块电阻为1000~10000欧姆；

其中，所述减反层是以铝、硅的氧化物中的任意一种或混合物为基质，再掺杂二氧化钒，其中二氧化钒占总量的摩尔比为30%~50%，方块电阻大于5万欧姆。

2.根据权利要求1所述的太阳能集热管的选择性吸收涂层镀膜方法，其特征在于，在所述内管的吸热段与罩玻璃管之间形成真空夹层。