[发明专利]一种拉线式位移传感器校准装置及校准方法

说明书

本发明公开了一种拉线式位移传感器校准装置及校准方法，所述拉线式位移传感器校准装置包括直线导轨、依次可滑动地设置在所述直线导轨上的激光干涉仪滑台、主轴滑台和拉线式位移传感器滑台，所述激光干涉仪滑台上设置有激光干涉仪，所述主轴滑台上设置有主轴，所述拉线式位移传感器滑台上设置有被校准的拉线式位移传感器，所述拉线式位移传感器校准装置包括第一感应线标定微调套筒、第二感应线标定微调套筒、感应线标定微调板和用于固定所述拉线式位移传感的感应线的起始端的感应线固定元件。该拉线式位移传感器校准装置旨在解决现有技术中的线位移传感器的校准方案导致的装夹不便、量程较小、易产生较大阿贝误差以及安全性差的技术问题。

技术领域

本发明涉及位移传感器校准设备技术领域，尤其涉及一种拉线式位移传感器校准装置及校准方法。

背景技术

拉线(绳)式位移传感器是依靠其自带感应线(绳)拉出的距离来实现测量的一种线位移传感器。广泛应用于装备制造，工程建设等领域，具有精度高、稳定性好、使用便捷的特点。现有技术中针对线位移传感器有如下校准方案：

(1)用量块做为标准器，拉线(绳)式位移传感器直接测量标准量块。量块的标称值即为拉线(绳)式位移传感器的输入值，所获得的测得值与量块标称值的差值即为该测量点的绝对示值误差。该方案的缺陷在于：在实施校准时由于拉线(绳)式位移传感器及其感应线(绳)起始端的定位和固定都存在较大不便，从拉线(绳)式位移传感器拉出的感应线(绳)与量块中心线的平行度难以保证，因此会导致较大阿贝误差；感应线(绳)起始端与量块端面的适配和固定也存在较大不便因此会导致测量重复性也较大；操作复杂，如果拉线(绳)式位移传感器或者感应线(绳)起始端固定不当那么就存在较大的人员和设备的安全隐患的问题。

(2)用光栅作为标准器再辅以其他配套设备，根据光栅的读数作为校准拉线(绳)式位移传感器的输入值，所获得的测得值与光栅读数的差值即为该测量点的绝对示值误差。该方案的缺陷在于：在实施校准时由于拉线(绳)式位移传感器以及感应线(绳)起始端的定位和固定存在较大不便，传感器拉出的感应线(绳)与导轨的平行度难以保证，因此也会导致较大阿贝误差；如果拉线(绳)式位移传感器或者感应线(绳)起始端固定不当，那么也存在较大的人员和设备的安全隐患的问题。

发明内容

(一)要解决的技术问题

基于此，本发明提出了一种拉线式位移传感器校准装置，该拉线式位移传感器校准装置旨在解决现有技术中的线位移传感器的校准方案导致的装夹不便、量程较小、易产生较大阿贝误差以及安全性差的技术问题。

(二)技术方案

为解决上述技术问题，本发明提出了一种拉线式位移传感器校准装置，所述拉线式位移传感器校准装置包括直线导轨、依次可滑动地设置在所述直线导轨上的激光干涉仪滑台、主轴滑台和拉线式位移传感器滑台，所述激光干涉仪滑台上设置有激光干涉仪，所述主轴滑台上设置有主轴，所述拉线式位移传感器滑台上设置有被校准的拉线式位移传感器，所述拉线式位移传感器校准装置包括第一感应线标定微调套筒、第二感应线标定微调套筒、感应线标定微调板和用于固定所述拉线式位移传感的感应线的起始端的感应线固定元件，所述主轴沿轴向的第一端部面对所述激光干涉仪，所述主轴沿轴向的第二端部面对所述拉线式位移传感器，所述第一感应线标定微调套筒能够沿所述主轴的轴线转动地安装于所述主轴的第二端部的第一感应线标定微调套筒安装孔中，所述感应线固定元件安装在所述主轴靠近所述第二端部的位置，所述感应线标定微调板沿与所述直线导轨垂直的方向高度可调地安装于所述拉线式位移传感器滑台上，所述第二感应线标定微调套筒可转动地安装于所述感应线标定微调板上并且能够插入所述第一感应线标定微调套筒安装孔中。

优选地，所述第一感应线标定微调套筒面对所述第二感应线标定微调套筒的端面具有第一容纳孔，所述第一感应线标定微调套筒侧面开设有与所述第一容纳孔连通的第一放线通槽，所述主轴的侧面开设有与所述第一感应线标定微调套筒安装孔连通的第二放线通槽，所述第一感应线标定微调套筒能够转动至所述第一放线通槽和第二放线通槽对准并连通的位置。