[发明专利]柔性面板整平装置以及方法在审
申请号: | 202010142082.9 | 申请日: | 2020-03-04 |
公开(公告)号: | CN111473039A | 公开(公告)日: | 2020-07-31 |
发明(设计)人: | 项洁;王理华 | 申请(专利权)人: | 上海精测半导体技术有限公司 |
主分类号: | F16B47/00 | 分类号: | F16B47/00;B25B11/00 |
代理公司: | 苏州友佳知识产权代理事务所(普通合伙) 32351 | 代理人: | 储振 |
地址: | 201700 上海市青浦区*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 柔性 面板 平装 以及 方法 | ||
本发明提供了一种柔性面板整平装置及方法,该装置包括:由底板与顶板对合并形成的载台及吸气组件;底板朝向顶板的面设置有嵌套布置的若干凹槽,以基于凹槽围合形成若干隔离的气腔,吸气组件与气腔连通;顶板形成嵌套布置的若干主吸附区,每个主吸附区从内围至外围的方向上形成孔面积依次减小并与气腔连通的多个吸附孔,气腔与主吸附区一一对应配置,且每个主吸附区对应配置的气腔之间相互独立。通过本发明所揭示的柔性面板整平装置及其方法,可对放置在载台上的柔性面板等待吸附组件自内围向外围实现逐步吸附,并提高了载台对柔性面板吸附固定过程中可靠性,有效地克服了柔性面板的内侧及边缘发生翘起或者吸附力不均匀等技术缺陷。
技术领域
本发明涉及自动化设备技术领域,尤其涉及一种柔性面板整平装置以及方法。
背景技术
柔性面板具有轻薄,柔软的特性。基于该特性,柔性面板容易变形,无法自然展平。加工柔性面板之前,需要整平柔性面板直至柔性面板平整地位于载台上。整平方式如下:载台分布有若干尺寸一致的吸附孔。将柔性面板放置于载台后,若干吸附孔同时吸附柔性面板。吸附后还需要通过滚筒进一步整平柔性面板。具体地,滚筒以滚动的方式按压柔性面板。存在的问题是:柔性面板仍然容易存在不平整的问题,且滚筒压向表面不平整的柔性面板容易损坏柔性面板。
有鉴于此,有必要对现有技术中的对柔性面板等待吸附固定的组件的平整装置予以改进,以解决上述问题。
发明内容
本发明的目的在于克服现有技术所存在的缺陷,提高对柔性面板等待吸附组件吸附固定效果,防止柔性面板的内侧及边缘的发生翘起的现象。
为实现上述目的,本发明提供了一种柔性面板整平装置,包括:由底板与顶板对合并形成的载台及吸气组件;所述底板朝向顶板的面设置有嵌套布置的若干凹槽,以基于所述凹槽围合形成若干隔离的气腔,所述吸气组件与气腔连通;所述顶板形成嵌套布置的若干主吸附区,每个主吸附区从内围至外围的方向上形成孔面积依次减小并与气腔连通的多个吸附孔,所述气腔与所述主吸附区一一对应配置,且每个主吸附区对应配置的气腔之间相互独立。
作为本发明的进一步改进,所述主吸附区的数量为至少两个,至少两个所述主吸附区在从内围至外围的方向上形成孔面积依次减小并与气腔连通的多个吸附孔,每个主吸附区中相同孔面积的吸附孔相对于载台的中轴线呈轴对称分布。
作为本发明的进一步改进,所述凹槽的底部具有通气孔,所述通气孔与所述吸气组件连通;每个主吸附区对应的凹槽的底部所开设的通气孔靠近孔面积最大的吸附孔设置。
作为本发明的进一步改进,所述通气孔相对于载台的中轴线呈对称分布,并分别与相互独立的气腔连通。
作为本发明的进一步改进,包含所述顶板的中心区域的所述主吸附区配置的通气孔位于所述底板的中心位置,位于包含所述顶板的中心区域的主吸附区外围的主吸附区形成有周向间隔分布的至少两个通气孔。
作为本发明的进一步改进,各个主吸附区所设置的吸附孔所形成的孔面积的排布顺序均相同,且相对于载台的中轴线呈轴对称分布。
作为本发明的进一步改进,所述顶板还具边缘吸附区,所述边缘吸附区位于所述顶板周边外围区域,所述边缘吸附区形成吸附柔性面板边缘的若干边缘吸附孔。
作为本发明的进一步改进,所述柔性面板整平装置还包括:机架,平整度检测器和拉平组件;
所述平整度检测器和所述拉平组件均安装于所述机架;
所述拉平组件包括吸盘或者气爪,以通过所述拉平组件夹持所述柔性面板相对的边缘,并拉平所述柔性面板。
基于上述第一个发明创造所揭示的发明思想,本申请还揭示了一种柔性面板整平方法,
使用如上述任一项发明创造所述的柔性面板整平装置对柔性面板进行整平,所述柔性面板整平方法包括:
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