[发明专利]封装结构在审
申请号: | 202010142099.4 | 申请日: | 2020-03-04 |
公开(公告)号: | CN113130415A | 公开(公告)日: | 2021-07-16 |
发明(设计)人: | 戴宏明;廖贞慧;郭燕静;叶树棠;蔡维隆;陈鸿毅;洪健彰 | 申请(专利权)人: | 财团法人工业技术研究院 |
主分类号: | H01L23/31 | 分类号: | H01L23/31;H01L25/07 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人: | 陈小雯 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 封装 结构 | ||
本发明公开一种封装结构,其包括可挠基板,具有元件区与非元件区;多个电子元件,位于可挠基板的元件区中;第一挡墙,围绕这些电子元件的一或多者;第二挡墙,围绕第一挡墙,且第一挡墙与第二挡墙之间具有沟槽;以及阻气层,覆盖电子元件与第一挡墙的表面,其中第一挡墙表面的表面能大于第二挡墙表面的表面能。
技术领域
本发明涉及封装结构,特别是涉及包含阻气层的封装结构。
背景技术
随着电子元件工业技术的进步,电子元件已自硬质不可挠曲特性朝向软性可挠曲特性发展,此发展过程伴随着电子元件所使用的材质的改变。举例而言,可挠性基板已在许多应用中取代了硬质玻璃基板,同时电子元件中的各项构件也逐渐发展出以可挠性材料,例如有机材料来制作。可挠性电子元件采用有机材料制作时,阻隔水气与氧气的能力一直是亟待解决的问题。为求有效延长可挠性电子元件的寿命,各种封装结构都着重于阻隔水气与氧气的技术手段。
若采用整面阻气层覆盖可挠基板上的所有电子元件,将会降低可挠基板的可挠性。另一方面,整面的阻气层若过薄则无法达到阻水阻气的效果,但整面的阻气层若过厚则会使基板不具可挠性,或可挠基板挠曲时造成整面阻气层破裂而劣化其阻气效果。综上所述,目前亟需新的结构设计以兼具可挠基板的可挠性与阻气层的阻气性。
发明内容
本发明一实施例提供的封装结构,包括:可挠基板,具有元件区与非元件区;多个电子元件,位于可挠基板的元件区中;第一挡墙,围绕电子元件的一或多者;第二挡墙,围绕第一挡墙,且第一挡墙与第二挡墙之间具有沟槽;以及第一阻气层,覆盖电子元件与第一挡墙的表面,其中第一挡墙表面的表面能大于第二挡墙表面的表面能。
本发明一实施例提供的封装结构,包括:可挠基板;多个电子元件,位于可挠基板上;第一阻气层,覆盖电子元件的一或多者的侧壁与上表面;以及软性结构,位于可挠基板上,阻气层位于软性结构与电子元件之一或多者之间,且软性结构的杨氏系数大于或等于0.02GPa且小于2GPa。
附图说明
图1至图6为本发明实施例中,封装结构的剖视图;
图7A至图7E、图8A至图8E、图9A至图9E、图10A至图10E、图 11A至图11E、图12A至图12E、图13A至图13E、图14A至图14E、图 15A至图15E、图16A至图16E、图17A至图17E、与图18A至图18E为本发明实施例中,封装结构于制作工艺的中间阶段的剖视图。
符号说明
100 可挠基板
110 元件区
120 非元件区
130 装置
140 电子元件
150 第一挡墙
160 第二挡墙
170 沟槽
175 缓冲层
180 溶液
190、190’、195、195’ 阻气层
200 软性结构
具体实施方式
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