[发明专利]开放式晶圆盒用治具

权利要求书

1.一种开放式晶圆盒用治具，其特征在于：包括治具底座(1)、定位组织、传感器(3)、智能调整安全机构(4)，所述定位组织、传感器(3)、智能调整安全机构(4)均安装于治具底座(1)上；

治具底座(1)由立板(11)、下底板(12)、上底板(13)组成，上底板(13)通过多块立板(11)倾斜固定于下底板(12)上；

所述定位组织由上部定位机构(21)、侧部定心机构(22)、下部定位机构(23)组成，上部定位机构(21)安装于上底板(13)最高端，侧部定心机构(22)安装于上底板(13)的中部，下部定位机构(23)安装于上底板(13)最低端；

智能调整安全机构(4)由调整安全机构座(41)、对射传感器(42)组成，调整安全机构座(41)活动设置于上底板(13)的四角，在每个调整安全机构座(41)上均设置有对射传感器(42)，且同一高度上的两个对射传感器(42)发射端相对。

2.如权利要求1所述的开放式晶圆盒用治具，其特征在于：上部定位机构(21)由上部定位座(211)、弹簧一(212)、导向块(213)、旋转轴(214)组成，上部定位座(211)固定于上底板(13)上，导向块(213)通过旋转轴(214)安装于上部定位座(211)上，且上部定位座(211)与导向块(213)之间形成第一弹性空间，所述第一弹性空间内安装有弹簧一(212)，弹簧一(212)的两端分别连接上部定位座(211)与导向块(213)。

3.如权利要求2所述的开放式晶圆盒用治具，其特征在于：侧部定心机构(22)由侧部定心座(221)、挡板(222)、轴承(223)、弹性件(224)，侧部定心座(221)固定于上底板(13)上，挡板(222)设置于侧部定心座(221)的侧面，轴承(223)通过弹性件(224)横向固定于侧部定心座(221)内，挡板(222)上开设有通孔(2221)，轴承(223)穿过通孔(2221)。

4.如权利要求1所述的开放式晶圆盒用治具，其特征在于：下部定位机构(23)由固定板(231)、定位板(232)、弹簧二(233)、导向杆(234)，固定板(231)固定于上底板(13)上，导向杆(234)固定于固定板(231)上，定位板(232)活动固定于导向杆(234)上，定位板(232)与固定板(231)之间形成第二弹性空间，所述第二弹性空间内设有弹簧二(233)，弹簧二(233)的两端分别连接定位板(232)与固定板(231)。

5.如权利要求1所述的开放式晶圆盒用治具，其特征在于：弹簧二(233)的最小弹力大于等于弹簧一(212)最大弹力加晶圆盒与上底板(13)之间的静摩擦力，且弹簧一(212)的最小弹力大于等于晶圆盒与上底板(13)之间的静摩擦力。

6.如权利要求1所述的开放式晶圆盒用治具，其特征在于：弹性件(224)的最小弹力大于等于轴承(223)与晶圆盒之间的摩擦力加晶圆盒与上底板(13)之间的静摩擦力。

7.如权利要求1所述的开放式晶圆盒用治具，其特征在于：两个侧部定心机构(22)之间的距离大于晶圆盒盒宽。

8.如权利要求1所述的开放式晶圆盒用治具，其特征在于：一个定位组织由两个上部定位机构(21)、两个侧部定心机构(22)、一个下部定位机构(23)组成。

9.如权利要求1所述的开放式晶圆盒用治具，其特征在于：导向块(213)呈凹形结构。