[发明专利]基于贵金属圆二色性的流速探测器及系统在审
申请号: | 202010145229.X | 申请日: | 2020-03-05 |
公开(公告)号: | CN111337706A | 公开(公告)日: | 2020-06-26 |
发明(设计)人: | 不公告发明人 | 申请(专利权)人: | 西安柯莱特信息科技有限公司 |
主分类号: | G01P5/26 | 分类号: | G01P5/26 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 710000 陕西省西安市高新区高*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 基于 贵金属 圆二色性 流速 探测器 系统 | ||
1.一种基于贵金属圆二色性的流速探测器,其特征在于,所述流速探测器包括:衬底和多个检测部,多个所述检测部周期设置在所述衬底的一侧,每个所述检测部均包括:支撑部、弹性柱和偏转部;所述支撑部设置在所述衬底的一侧,所述弹性柱垂直于所述支撑部设置,所述偏转部设置在所述弹性柱远离所述支撑部的另一端。
2.根据权利要求1所述的基于贵金属圆二色性的流速探测器,其特征在于,所述弹性柱设置在所述支撑部远离所述衬底一侧的面的中央位置。
3.根据权利要求1所述的基于贵金属圆二色性的流速探测器,其特征在于,所述支撑部的形状为“U”形,所述“U”形支撑部的开口方向与所述基底的面的垂线相互垂直。
4.根据权利要求3所述的基于贵金属圆二色性的流速探测器,其特征在于,所述弹性柱设置在所述“U”形支撑部远离所述衬底一侧的面的中央位置。
5.根据权利要求1所述的基于贵金属圆二色性的流速探测器,其特征在于,所述支撑部的形状为长方体,所述偏转部的形状为长方体,所述偏转部的边与所述支撑部平行。
6.根据权利要求5所述的基于贵金属圆二色性的流速探测器,其特征在于,长方体的所述支撑部的长边的长度为200纳米-800纳米,所述支撑部的短边的长度为100纳米-400纳米。
7.根据权利要求6所述的基于贵金属圆二色性的流速探测器,其特征在于,所述偏转部的边长为20纳米-80纳米。
8.根据权利要求7所述的基于贵金属圆二色性的流速探测器,其特征在于,所述弹性柱的形状为四棱柱,且边长为20纳米-80纳米。
9.根据权利要求1-8任意一项所述的基于贵金属圆二色性的流速探测器,其特征在于,所述支撑部和所述偏转部的材料为贵金属。
10.一种基于贵金属圆二色性的流速探测系统,其特征在于,所述流速探测系统包括:光源、光探测器和权利要求1-9任意一项所述的流速探测器,所述光源设置在所述偏转部远离所述衬底的一端,所述光探测器设置在所述衬底远离所述偏转部的一端。
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