[发明专利]光纤微振动的探测装置及系统

权利要求书

1.一种光纤微振动的探测装置，其特征在于，所述探测装置包括：光纤、纳米梁、探测尖和壳体；所述光纤、纳米梁和探测尖均设置在所述壳体内部，其中，所述光纤贯穿所述壳体，在所述光纤上沿垂直于所述光纤方向开设有孔洞，所述纳米梁一端固定在所述壳体内部，所述纳米梁的另一端设置有所述探测尖，所述探测尖垂直于所述纳米梁设置，并延伸至所述光纤中的所述孔洞中。

2.根据权利要求1所述的光纤微振动的探测装置，其特征在于，所述探测尖的横截面积的宽度小于所述孔洞的直径。

3.根据权利要求1所述的光纤微振动的探测装置，其特征在于，所述探测尖和所述纳米梁的材料均为硅。

4.根据权利要求1或3所述的光纤微振动的探测装置，其特征在于，所述探测尖表面镀有贵金属膜。

5.根据权利要求1所述的光纤微振动的探测装置，其特征在于，所述探测尖的形状为圆锥形、圆柱形或者条形。

6.根据权利要求1所述的光纤微振动的探测装置，其特征在于，所述光纤上沿垂直于所述光纤方向开设有孔洞的数量为两个。

7.根据权利要求6所述的光纤微振动的探测装置，其特征在于，两个所述孔洞之间的距离为1微米-10微米。

8.根据权利要求7所述的光纤微振动的探测装置，其特征在于，所述探测尖的数量为两个，两个所述探测尖均设置在所述纳米梁的一端，且分别延伸到一个所述孔洞中。

9.一种光纤微振动的探测系统，其特征在于，所述探测系统包括：光源、光谱仪和权利要求1-8任意一项所述的探测装置，所述光源和所述光谱仪分别设置在所述探测装置的所述光纤的两端。