[发明专利]一种多路高精度高压电源

权利要求书

1.一种多路高精度高压电源，其特征在于，包括至少4路分支电源，分别为第一分高压电源、第二分高压电源、第三分高压电源与低压电源，所述第二分高压电源、所述第三分高压电源与所述低压电源均与所选第一分高压电源连接并悬浮于其上；

所述第一分高压电源用于加速从微焦点X射线源的灯丝发射出的电子，所述第二分高压电源用于与所述第三分高压电源组成静电透镜，所述低压电源用于对微焦点X射线源的灯丝进行热处理；

所述第一分高压电源与所述低压电源分别与微焦点X射线源的灯丝两端连接；所述第二分高压电源、所述第三分高压电源分别与微焦点X射线源的两组电极连接，组成静电透镜。

2.根据权利要求1所述的一种多路高精度高压电源，其特征在于：所述高精度高压电源还包括一路负高压电源，所述负高压电源与所述第一分高压电源连接并悬浮于其上，用于为微焦点X射线源的压缩极供电。

3.根据权利要求2所述的一种多路高精度高压电源，其特征在于：通过调节所述负高压电源的电压可调节电子束的发射张角。

4.根据权利要求1所述的一种多路高精度高压电源，其特征在于：通过调节所述第二分高压电源的输出电压与所述第三分高压电源的输出电压可实现在第一分高压电源的不同输出电压下对电子束进行静电聚焦。

5.根据权利要求1所述的一种多路高精度高压电源，其特征在于：通过调节所述高精度高压电源各路输出可使微焦点X射线源的灯丝稳定发射电子、静电透镜聚焦性能稳定。

6.根据权利要求1所述的一种多路高精度高压电源，其特征在于：所述高精度高压电源的纹波系数小于等于0.5％。

7.根据权利要求1所述的一种多路高精度高压电源，其特征在于：通过调节所述低压电源的电源参数可实现对灯丝的连续热处理或者脉冲热处理。

8.根据权利要求7所述的一种多路高精度高压电源，其特征在于：所述连续热处理指可设定电压和电流对灯丝进行处理，且低压电源工作在恒流模式；所述脉冲热处理指可设定电压、电流、脉冲频率、占空比、脉冲个数对灯丝进行处理，电流波形上升沿下降沿时间不超过10ms，在高电平输出时，所述低压电源工作在恒流模式。

9.根据权利要求1所述的一种多路高精度高压电源，其特征在于：所述高精度高压电源还包括互锁控制接口，用于对其高压输出进行使能控制，当互锁开关没有闭合时，所述高精度高压电源输出的一路或者多路高压电源处于锁定状态，无法输出；当互锁开关闭合时，所述高精度高压电源输出的一路或者多路高压电源处于解锁状态，可以输出。

10.根据权利要求9所述的一种多路高精度高压电源，其特征在于：所述高精度高压电源还包括数字接口，用于与上位控制设备通讯。