[发明专利]一种显影液废水处理方法及系统

权利要求书

1.一种显影液废水处理方法，其特征在于，包括以下步骤：

1）PH调节

在显影液废水中加入酸溶液，调节PH至7.5-8.5；

2）混凝沉淀

2-1）完成PH值调节后，在显影液废水中加入混凝剂，使析出的光刻胶凝聚为絮体；

2-2）然后再加入絮凝剂，使光刻胶絮体抱团，提高絮体的密实度；

2-3）静置沉淀1-2h，沉淀污泥排入工厂废水站污泥脱水系统处理，沉淀上清液待进一步处理；

3）超滤处理

通过超滤膜截留去除上清液中的颗粒状和胶体态杂质，得到超滤出水；

4）反渗透处理

对超滤出水进行反渗透处理，由反渗透膜截留显影液废水中的TMAH并对废水进行脱盐，其中，反渗透产水用于工厂循环冷却水补水或杂用水，富集了高浓度TMAH的反渗透浓水待后续步骤处理；

5）厌氧生化处理

对反渗透浓水进行厌氧生化处理，在厌氧微生物作用下，反渗透浓水中的TMAH分解转化为氨氮和甲烷气。

2.根据权利要求1所述的显影液废水处理方法，其特征在于，所述步骤1）中使用的酸溶液为盐酸或者硫酸。

3.根据权利要求2所述的显影液废水处理方法，其特征在于，所述步骤2-3）中的沉淀工艺可由气浮工艺代替，气浮浮渣排入工厂废水站污泥脱水系统处理，对应的，步骤4）中反渗透处理的对象为气浮出水。

4.根据权利要求3所述的显影液废水处理方法，其特征在于，所述步骤4）中反渗透系统回收率为75%-80%，反渗透膜通量为18-22L/m²·h，反渗透进水pH值为6.5-8，采用上述工艺参数，使得TMAH的截留率＞99%。

5.根据权利要求4所述的显影液废水处理方法，其特征在于，所述步骤5）包括：

5-1）在厌氧生化进水中投加碳酸钠、碳酸氢钠或氢氧化钠，控制厌氧反应出水pH值为6.8-7.2；

5-2）在厌氧生化进水中投加磷酸盐，投加浓度为10mg/L；

5-3）在厌氧生化反应器内投加钙盐，投加浓度为40mg/L；

5-4）在厌氧生化反应器内投加微量元素药液，投加比例按1m³厌氧生化进水投加1-2 L微量元素药液，其中微量元素药液组成为：0.8mg/L氯化钴，0.8mg/L氯化镍，0.8mg/L硫酸亚铁。

6.根据权利要求5所述的显影液废水处理方法，其特征在于，所述步骤5)中厌氧生化容积负荷为4-8 kg TMAH/m³·d，厌氧生化反应温度为35-38℃。

7.一种显影液废水处理系统，其特征在于，包括：

PH调节模块，用于在显影液废水中加入酸溶液，调节PH至7.5-8.5；

混凝沉淀模块，用于对显影液废水进行混凝沉淀处理，以去除显影液废水中经pH调节后析出的不溶态的光刻胶；

超滤处理模块，用于通过超滤膜截留去除上清液中的颗粒状和胶体态杂质，得到超滤出水；

反渗透处理模块，用于对超滤出水进行反渗透处理，由反渗透膜截留显影液废水中的TMAH并对废水进行脱盐；

厌氧生化处理模块，用于对反渗透浓水进行厌氧生化处理，在厌氧微生物作用下，反渗透浓水中的TMAH分解转化为氨氮和甲烷气。