[发明专利]带有主承载件、布置在主承载件上的中间承载件和布置在中间承载件上的比例尺的组件

说明书

组件包括主承载件、布置在所述主承载件上的中间承载件和布置在所述中间承载件上的比例尺。组件包括第一和第二集成到所述主承载件中的固定元件和第三和第四固定元件。所述第一固定元件如下地构造，使得所述第一固定元件在第一位置处沿纵向方向刚性地在所述主承载件处承载所述中间承载件。所述第二固定元件如下地构造，使得所述第二固定元件在与所述第一位置不同的第二位置处沿纵向方向相对于所述主承载件能够自由地运动地承载所述中间承载件。所述第三固定元件如下地构造，使得所述第三固定元件在所述第一位置处沿纵向方向刚性地在所述中间承载件处承载所述比例尺。

技术领域

本发明涉及一种带有主承载件、布置在主承载件上的中间承载件和布置在中间承载件上的比例尺的组件。

背景技术

这样的位置测量机构尤其在加工机器中使用以用于测量工具关于待加工的工件的相对位置，在坐标测量机器中使用以用于测得测试对象的位置和尺寸以及还在半导体工业中使用。在此，比例尺直接地附装在承载件处，例如在驱动单元(例如线性马达)处或比例尺附装在通过驱动单元驱动的结构部件处。位置测量机构的扫描单元相对于运动的比例尺固定不动地布置在第二对象处，应该测量所述第二对象相对于承载件的相对位置。

对于位置测量机构的要求越来越高。不断地要求位置测量的较高的分辨率以及较高的准确性和可再现性。为了形成比例尺相对于承载件的固定点，已知的是，将所述比例尺沿测量方向位置固定地固定在承载件处的一个位置处。

在多数情况下，比例尺和承载件由带有不同的热膨胀特性的材料构造。位置固定的固定如下地设计，使得在温度改变时不将承载件的约束力施加到比例尺上。

这种类型的位置测量机构从DE19512892A1中已知。在所述位置测量机构的情况下，比例尺由承载件体和尺实体形成。在此，尺实体经由两个与彼此间隔开的支架与承载件体连接。所述支架中的一个支架形成用于将尺实体固定在承载件体处的固定点。第二支架形成弹性的固定点，从而从起固定作用的支架出发尺实体的由热引起的相对于承载件体的纵向可移位性是可能的。

发明内容

本发明基于如下任务，说明一种带有主承载件、布置在主承载件上的中间承载件和布置在中间承载件上的比例尺的组件，所述组件紧凑地构建并且藉由所述组件实现精确的位置测量。

根据本发明，所述任务通过带有如下特征的组件来解决：组件，带有主承载件、布置在所述主承载件上的中间承载件和布置在所述中间承载件上的比例尺，其中，所述比例尺沿纵向方向延伸，并且其中，所述比例尺具有布置在测量分度平面中的测量分度，以用于至少沿纵向方向的位置测量，所述主承载件具有第一固定元件和第二固定元件，其中，所述第一固定元件和所述第二固定元件集成到所述主承载件中，并且其中，所述第一固定元件和所述第二固定元件沿纵向方向与彼此间隔开地进行布置，所述第一固定元件如下地构造，使得所述第一固定元件在第一位置处沿纵向方向刚性地在所述主承载件处承载所述中间承载件，并且所述第二固定元件如下地构造，使得所述第二固定元件在与所述第一位置不同的第二位置处沿纵向方向相对于所述主承载件能够自由地运动地承载所述中间承载件，所述组件具有第三固定元件和第四固定元件，其中，所述第三固定元件和所述第四固定元件沿纵向方向与彼此间隔开地进行布置，

并且所述第三固定元件如下地构造，使得所述第三固定元件在所述第一位置处沿纵向方向刚性地在所述中间承载件处承载所述比例尺，并且所述第四固定元件如下地构造，使得所述第四固定元件在与所述第一位置和所述第二位置不同的第三位置处沿纵向方向相对于所述中间承载件能够自由地运动地承载所述比例尺。