[发明专利]基板贴合装置、制造系统及半导体装置的制造方法

权利要求书

1.一种基板贴合装置，具备：

第1吸附台，吸附第1基板；

第2吸附台，与所述第1基板对向配置，吸附第2基板；以及

对准部，可插入所述第1吸附台与所述第2吸附台之间；且

所述对准部具有：

基座部，具有第1主面及所述第1主面的相反侧的第2主面；

第1检测元件，配置在所述第1主面；以及

第2检测元件，配置在所述第2主面。

2.根据权利要求1所述的基板贴合装置，其中

所述对准部构成为所述第1检测元件及所述第2检测元件可相互独立地移动。

3.根据权利要求2所述的基板贴合装置，还具备：

控制器，将所述第1检测元件的第1光轴与所述第2检测元件的第2光轴对准，并于存在所述第1光轴及所述第2光轴的状态下，将所述对准部插入所述第1吸附台与所述第2吸附台之间。

4.根据权利要求3所述的基板贴合装置，其中

所述对准部在插入所述第1吸附台与所述第2吸附台之间的状态下，通过所述第1检测元件获得所述第1基板的图像，通过所述第2检测元件获得所述第2基板的图像，

所述控制器根据所述获得的所述第1基板的图像及所述第2基板的图像，来修正所述第1基板与所述第2基板的位置偏移，以此方式控制所述第1吸附台及所述第2吸附台。

5.根据权利要求2所述的基板贴合装置，其中

所述对准部还具有：

第1驱动机构，可沿着所述第1主面移动所述第1检测元件；以及

第2驱动机构，可沿着所述第2主面移动所述第2检测元件；

所述基板贴合装置还具有：

第1校准台，相对于所述基座部配置在所述第1主面侧，且包含第1基准标记；以及

第2校准台，相对于所述基座部配置在所述第2主面侧，且包含第2基准标记。

6.根据权利要求5所述的基板贴合装置，其中

所述对准部还具有：

第1轨道，在所述第1主面侧连接在所述基座部，且可供所述第1检测元件滑动；以及

第2轨道，在所述第2主面侧连接在所述基座部，且可供所述第2检测元件滑动；

所述第1驱动机构使所述第1检测元件沿着所述第1轨道滑动，

所述第2驱动机构使所述第2检测元件沿着所述第2轨道滑动。

7.根据权利要求5所述的基板贴合装置，还具备：

控制器，以如下方式控制所述第1驱动机构及所述第2驱动机构：在所述对准部位于所述第1校准台及所述第2校准台之间的校准执行位置的状态下，将所述第1检测元件的第1光轴对准所述第1基准标记，将所述第2检测元件的第2光轴对准所述第2基准标记。

8.根据权利要求5所述的基板贴合装置，还具备：

引导部，引导所述对准部在所述第1校准台及所述第2校准台之间的校准执行位置、与所述第1吸附台及所述第2吸附台之间的对准执行位置之间移动。

9.根据权利要求8所述的基板贴合装置，其中

所述引导部在所述对准部位于所述校准执行位置时，可将所述对准部翻转。

10.根据权利要求8所述的基板贴合装置，其中

所述引导部具有：

第1导轨，从所述校准执行位置延伸至所述对准执行位置；

支撑臂，支撑所述基座部，可沿着所述第1导轨滑动；

第3驱动机构，使所述基座部沿着所述支撑臂滑动；以及

第4驱动机构，使所述支撑臂沿着所述第1导轨滑动。

11.根据权利要求10所述的基板贴合装置，其中

所述第3驱动机构使所述基座部绕所述支撑臂的轴旋转。