[发明专利]一种可对复合膜多种参数进行在线测量的测量头及装置

权利要求书

1.一种可对复合膜多种参数进行在线测量的测量头，其特征在于：

包括空间信息检测模块和光谱信息检测模块；

所述空间信息检测模块包括第一光源(16)、第一光束收集装置(17)和第一探测器(18)；

所述光谱信息检测模块包括红外光源(10)、光束调整装置(11)、波长筛选装置(12)、分束装置(15)、第二光束收集装置(131)、第二探测器(141)、第三光束收集装置(132)、第三探测器(142)；

所述第一光源(16)发出的光束斜射到涂层上后反射，第一光束收集装置(17)收集反射的光束并将其投射在第一探测器(18)上；

所述红外光源(10)发出的光束经过光束调整装置(11)进行准直，再经过波长筛选装置(12)后进入分束装置(15)，分束装置(15)将光束分成参考光束(30)、测量光束(32)，参考光束(30)经过第二光束收集装置(131)后进入第二探测器(141)，测量光束(32)透过涂层后遇到不透明基底被反射，反射到分束装置(15)上后被第三光束收集装置(132)聚集到第三探测器(142)上。

2.根据权利要求1所述的一种可对复合膜多种参数进行在线测量的测量头，其特征在于：

所述第一光源(16)为激光二极管，第一探测器(18)为CCD。

3.根据权利要求1所述的一种可对复合膜多种参数进行在线测量的测量头，其特征在于：

所述光束调整装置(11)为抛物面反射镜；波长筛选装置(12)为滤光片。

4.根据权利要求1-3任一所述的一种可对复合膜多种参数进行在线测量的测量头，其特征在于：

所述分束装置(15)为透反镜。

5.根据权利要求4所述的一种可对复合膜多种参数进行在线测量的测量头，其特征在于：

所述第一光束收集装置(17)、第二光束收集装置(131)、第三光束收集装置(132)为透镜。

6.一种可对复合膜多种参数进行在线测量的装置，其特征在于：

还包括U型基座，

所述U型基座两翼的内侧对称设置有如权利要求1-5任一所述的可对复合膜多种参数进行在线测量的测量头。

7.一种可对复合膜多种参数进行在线测量的装置，其特征在于：

包括O型基座，O型基座两翼的内侧对称设置有如权利要求1-5任一所述的可对复合膜多种参数进行在线测量的测量头。

8.一种可对复合膜多种参数进行在线测量的装置，其特征在于：

包括如权利要求1-5任一所述的可对复合膜多种参数进行在线测量的测量头，

还包括滤光轮，滤光轮与所述可对复合膜多种参数进行在线测量的测量头对称设置。

9.一种可对复合膜多种参数进行在线测量的装置，其特征在于：

包括如权利要求1-5任一所述的可对复合膜多种参数进行在线测量的测量头，

还包括激光三角测距头，激光三角测距头与上述可对复合膜多种参数进行在线测量的测量头进行对称设置。

10.根据权利要求9所述的一种可对复合膜多种参数进行在线测量的装置，其特征在于：

所述激光三角测距头包括第二光源(51)、第四光束收集装置(52)和第四探测器(53)。