[发明专利]半导体芯片检测装置在审
申请号: | 202010154508.2 | 申请日: | 2020-03-08 |
公开(公告)号: | CN111352017A | 公开(公告)日: | 2020-06-30 |
发明(设计)人: | 邱贤春 | 申请(专利权)人: | 邱贤春 |
主分类号: | G01R31/265 | 分类号: | G01R31/265;G01N21/95;B65G49/07 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 350100 福建省福州市闽侯县*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 半导体 芯片 检测 装置 | ||
本发明涉及检测设备技术领域,更具体地说,涉及一种半导体芯片检测装置,包括检测单元、上料控制单元、运送单元、上料单元、联动单元、出料单元、机架和底座,所述检测单元固接在所述上料控制单元上;所述上料控制单元固接在所述机架上;所述机架固接在所述底座上;所述上料控制单元传动连接两个所述联动单元;两个所述联动单元活动连接在所述机架的两端;两个所述联动单元传动连接所述运送单元;所述运送单元活动连接在所述机架上;所述运送单元配合在所述上料单元的下端;所述上料单元固接在所述机架上;所述运送单元配合在所述出料单元的上端;可实现多个半导体芯片的连续检测,提高半导体芯片的检测效率。
技术领域
本发明涉及检测设备技术领域,更具体地说,涉及一种半导体芯片检测装置。
背景技术
半导体芯片,也可以称为集成电路芯片,在各类设备中已经得到了广泛的应用,成为了现代化工业必不可少的重要元件。半导体芯片是在半导体基材上,通过多层金属构成复杂的电路,从而能够实现各类逻辑处理功能。在半导体芯片进入市场前,需要对其进行检测处理,但是现有技术中的半导体芯片检测装置检测时,无法对需要检测的多件半导体芯片进行连续式的检测,需要人工将一件半导体芯片放置在检测装置中,检测后人工取出放置下一个件半导体芯片,耗费人力较多,效率较低。
发明内容
本发明的目的在于提供一种半导体芯片检测装置,可以有效解决现有技术中的问题;可实现多个半导体芯片的连续检测,提高半导体芯片的检测效率。
为实现上述目的,本申请提供了一种半导体芯片检测装置,包括检测单元、上料控制单元、运送单元、上料单元、联动单元、出料单元、机架和底座,所述检测单元固接在所述上料控制单元上;所述上料控制单元固接在所述机架上;所述机架固接在所述底座上;所述上料控制单元传动连接两个所述联动单元;两个所述联动单元活动连接在所述机架的两端;两个所述联动单元传动连接所述运送单元;所述运送单元活动连接在所述机架上;所述运送单元配合在所述上料单元的下端;所述上料单元固接在所述机架上;所述运送单元配合在所述出料单元的上端;所述出料单元的两端活动连接在所述机架的两端;两个所述联动单元传动连接所述出料单元。
所述上料控制单元包括伺服电机、丝杆、升降座、门形立架、L形杆和传动齿条;所述伺服电机固接在所述升降座上;所述伺服电机的输出轴与所述丝杆的一端固接;所述丝杆通过螺纹配合在所述门形立架的中间;所述门形立架固接在所述机架上;所述升降座的两端分别固接一个所述L形杆的一端,两个所述L形杆的另一端分别固接一个所述传动齿条的上端;两个所述L形杆对称滑动配合在所述门形立架的两个纵向滑道内;两个所述传动齿条的内侧啮合传动连接两个所述联动单元;所述检测单元固接在所述升降座的下端。
所述上料控制单元还包括张紧弹簧和弹簧座;所述丝杆的另一端转动配合在所述弹簧座上;所述弹簧座与所述门形立架之间固接有所述张紧弹簧;所述张紧弹簧套设在所述丝杆上。
所述联动单元包括圆柱齿轮和轮轴一;所述传动齿条的内侧啮合传动连接所述圆柱齿轮的外侧;所述圆柱齿轮的上侧啮合传动连接所述运送单元;所述圆柱齿轮固接在所述轮轴一上;所述轮轴一通过带座轴承转动配合在所述机架上;所述圆柱齿轮的下侧啮合传动连接所述出料单元。
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