[发明专利]一种半导体自动化封装系统在审
申请号: | 202010154512.9 | 申请日: | 2020-03-08 |
公开(公告)号: | CN111223800A | 公开(公告)日: | 2020-06-02 |
发明(设计)人: | 王先勤;张雪丽 | 申请(专利权)人: | 秦皇岛知聚科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 066000 河北省秦*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 半导体 自动化 封装 系统 | ||
1.一种半导体自动化封装系统,包括垂直支架(3),所述垂直支架(3)正面的右侧通过第三伺服电机支(28)架固定连接有第三伺服电机(29),所述第三伺服电机(29)的输出轴固定连接有第四齿轮(27),第四齿轮(27)的右侧面齿轮连接有第三齿轮(25),第三齿轮(25)正面的中心开设有通孔,通孔内插接有第二丝杠(19),并且第二丝杠(19)的前后两端均通过第二丝杠支架(26)与垂直支(3)架转动连接;
所述垂直支架(3)的左侧面滑动连接有第一滑动光杆(2),并且第一滑动光杆(2)的底端固定连接有底座(1),所述第二丝杠(19)的外表面螺纹连接有第二螺母(18),第二螺母(18)的左侧面固定连接有第二螺母挂架(17),第二螺母挂架(17)左侧面的上侧和下侧分别转动连接有第一丝杠(11)和固定连接有第二滑动光杆(12),所述第一丝杠(11)的外表面螺纹连接有第一螺母(13),并且第一螺母(13)与第二滑动光杆(12)滑动连接,第一螺母(13)的下表面固定连接有加热线圈(14),加热线圈(14)的外表面套接有加热线圈套圈(15);
所述第一丝杠(11)外表面的左端转动连接有齿轮支架(7),并且齿轮支架(7)右表面的下侧与第二滑动光杆(12)固定连接,第一丝杠(11)的左端面固定连接有第一齿轮(5),第一齿轮(5)的上表面齿轮连接有第二齿轮(6),齿轮支架(7)的右侧面通过第一伺服电机支架(8)和第一伺服电机支架滑杆(9)固定连接有第一伺服电机(10),并且第一伺服电机(10)的输出轴与第二齿轮(6)固定连接,所述第一伺服电机支架(8)与垂直支架(3)的上表面通过滑动支架(4)滑动连接;
所述垂直支架(3)的右侧面螺纹连接有第三丝杠(20),第三丝杠(20)的下方设置有第二伺服电机(24),并且第二伺服电机(24)的输出轴与第三丝杠(20)固定连接,第三丝杠(20)的底座(1)的上表面固定连接,所述底座(1)上表面的前端通过第四伺服电机支架(32)固定连接有第四伺服电机(31),第四伺服电机(31)的输出轴固定连接有旋转摩擦桶(33),所述底座(1)上表面的后端固定连接有滑动半圆块支架(23),滑动半圆块支架(23)的左端通过滑动半圆块支杆(22)固定连接有滑动半圆块(21),并且旋转摩擦桶(33)与滑动半圆块(21)通过旋转皮带(34)固定连接,旋转皮带(34)的内侧设置有加热蒸汽铜管(30),并且加热蒸汽铜管(30)的输入端固定连接有蒸汽发生器(16),蒸汽发生器(16)与底座(1)的上表面固定连接。
2.根据权利要求1所述的一种半导体自动化封装系统,其特征在于:所述第二丝杠支架(26)为两个,并且两个第二丝杠支架(26)分别与垂直支架(3)前后表面的右侧固定连接。
3.根据权利要求1所述的一种半导体自动化封装系统,其特征在于:所述第一伺服电机支架滑杆(9)的左端固定连接有卡块(35),并且第一伺服电机支架滑杆(9)和第一丝杠(11)均与滑动支架(4)滑动连接。
4.根据权利要求1所述的一种半导体自动化封装系统,其特征在于:所述加热线圈套圈(15)位于旋转皮带(34)的上方的中心。
5.根据权利要求1所述的一种半导体自动化封装系统,其特征在于:所述加热蒸汽铜管(30)的位于旋转皮带(34)内侧的中心,并且加热蒸汽铜管(30)的上表面和下表面与旋转皮带(34)内侧面之间的间隙均为十毫米。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造